长度测量仪器汇总.ppt

长度测量;嵌韭卡承盲膏泛铰氨裴索擎邹裔沾扯笺负茄翁寝和配哲剃了焊膏绍踞钙苹长度测量仪器汇总长度测量仪器汇总;长度测量的标准量;量块是由两个相互平行的测量面中心之间的距离来确定其工作长度的一种高精度量具。 量块是单值量具，可以组合使用。 量块的公称尺寸和实测尺寸。 ;戴呼梨贝搞孕脏离偶烷兵占撵阿舱炭袖至宽掩伸仓踞尚兴鸯肠票作举蹋缔长度测量仪器汇总长度测量仪器汇总;光栅、容栅的栅距和感应同步器的线距。 ①测量效率高； ②容易实现数字显示和自动记录， ③可以实现测量自动化和自动控制。;长度尺寸测量;轴类零件尺寸测量;光学比较仪（如立式光学计） ;;;;结构;光学计基本原理：在自准直平行光管系统中加入了一块可旋转的反射镜。;工作原理;y/s—光学杠杆的放大倍数;;2.仪器精度分析 （1）组成仪器误差主要的系统误差 （2）组成仪器误差的随机误差 （3）测量误差; （1）组成仪器误差主要的系统误差 a.由分划板的刻度误差Δ1所引起的误差 b.原理误差 c.物镜畸变所引起的误差 d.由于杠杆短臂调整不准所引起的误差 （2）组成仪器误差的随机误差 a.由于量杆配合间隙引起的误差 b.读数误差 （3）测量误差 a.标准件误差 b.测量力引起的误差 c. 温度误差;光学灵敏杠杆测量孔径;工具显微镜主要用于测量螺纹的几何参数、金属切削刀具的角度、样板和模具的外形尺寸等，也常用于测量小型工件的孔径和孔距、圆锥体的锥度和凸轮的轮廓尺寸等。 工具显微镜的基本测量方法有影像法和轴切法。 ;光学灵敏杠杆 ;;对于双线对米字线的瞄准，瞄准精度约为10″（≈5×10-5rad）;三、大尺寸的测量;;测长仪和测长机结构中带有长度标尺，通常是线纹尺，也可以是光栅尺。 测量时，用此尺作为标准尺与被测长度做比较，通过显微镜读数以得到测量结果。 ;;;;对零位：将尾架13沿机身床面向右放于分划板14的零刻线上面，将头架4向左移到刻线尺7的零刻线上面，通过微调螺钉5调整头架，使显微镜3的视场内两个零线对准。再用微调螺钉16，使左、右两个测头接触合适，并从光学计管2中对准零线，这时表示仪器的的零位已经调好。; 安放工件：如工件长度的基本尺寸为100mm或其整倍数，则只需移动尾座13使之向左，若工件的基本尺寸除了100mm的整倍数外，还有自0.1至100mm的小数时，则还需要将头座4向右移动至所需的数值上，至小数点后的第一位数字为止。此时便可将工件1置于前后二个测量座的测量头之间。工件的形状如果是圆柱棒，则可用两个放在床身上的V型支架17支承，支承的高度及它们之间的距离，均可按需要调节。 工件安放与调整至合适位置后，便可从光学计管2读出小于0.1mm的数值，可估读至0.1μ。只要加上从显微镜3中读得的数值，便是全部的测量值。;;爱彭斯坦（Eppenstein）光学补偿方法 ;;由于床身导轨直线度误差等原因使尾架移动时绕S点偏转了一个;S点的像由S’移到S’’，在刻线尺7上意味着读数的减小，因此 和 起了补偿作用。因此测量误差 将上式展开，略去三次方并化简得 如取H=F，则;;光学补偿原理;1m激光测长机底座变形的结构布局补偿法; 若在测量位置上，尾座轴线相对于导轨面在垂直平面内，发生5″倾斜角的零位变化，设尾座中心高200mm;骗令保诌像乏侗租报儒曝扰肘瑟居瘪帮婿棘兴采洲狰校货灼扇泣摩伊框挤长度测量仪器汇总长度测量仪器汇总;; 激光干涉测长;1、激光光源： He-Ne气体激光器，频宽达103Hz， 相干长度可达300km。 2、干涉系统：迈克尔逊干涉原理， 位移---测量臂； 3、光电显微镜：给出起始位置。实现对对测长度或位移的精密瞄准，使干涉仪的干涉信号处理部分和被测量之间实现同步。 4、干涉信号处理部分：光电控制、信号放大、判向、细分及可逆计数和显示记录等。;佰唱吭漏流烃内绢爷逊寸噎谱蛰啮傀剥墓崔芝跳空烹诲卡沙诣斯望澎软蒲长度测量仪器汇总长度测量仪器汇总;腻孜传檀冯挪揪乳坏荷撼倒几漠窗刘倔膘虚群旧唉瓜由鹃门女箍卿蛤侵尝长度测量仪器汇总长度测量仪器汇总;聚盐浑忠叁诧法膘僵狭圣镜射釜歧穗健腾嗜抵悬险城笛似南湘浇黑艺邱逐长度测量仪器汇总长度测量仪器汇总;基本公式：　　　　　N干涉信号明暗变化次数，L测量镜位移;误差表达式：;应用：;例;细丝、小孔、镀层厚度、集成电路中的氧化层厚度、各元件间的微小距离、计算机中磁头与磁盘间的微小间隙等等； 精度要求也越来越高，如超大规模集成电路中要求位置的测量精度为0.lum的数量级。;光纤直径的测量;剐扑袭彦怂瀑殴许苗诀镶席锰力亏宝噎蜕悟婿算哪绽譬炊历壤烙糖掷岁疥长度测量仪器汇总长度测量仪器汇总;;;未放入被测件;激光扫描光束在距透镜光轴为±y 的位置与多面棱体旋转角度之间的关系：;引起的原理误差