太阳能级多晶硅切割废料浆的综合回收.pdfVIP

太阳能级多晶硅切割废料浆的综合回收／邢鹏飞等 ·75 · 太阳能级多晶硅切割废料浆的综合 回收 邢鹏飞，赵培佘，郭 菁，刘 燕，李 峰，涂赣峰 (东北大学材料与冶金学院，沈阳 110004) 摘要 太阳能级 多晶硅切割废料浆主要含高纯硅约 3O (质量分数，下同)、碳化硅约 35 、聚乙二醇和水约 28 和很少量的铁氧化物。综述了国内切割废料的回收情况。在 多晶硅的切割过程 中，约 5O 的多晶硅被切磨成高 纯硅粉进入到切割废料 中而损失。与碳化硅和聚 乙二醇相比，切割废料 中的高纯硅最有回收价值。我国太阳能级多 晶硅绝大多数需要进 口，因此如能将切割废料中的高纯硅提取 出来，进而用于制备太阳能级 多晶硅，不但能实现资源 的回收利用，而且可以减少多晶硅 的进 121，因此重点介绍 了当前 国~l-,z切割废料 中回收高纯硅 的研究进展 。 关键词 太阳能多晶硅 切割废料 回收 高纯硅 碳化硅 聚乙二醇 RecoveryofCuttingSlurryW asteofSolar—gradeSilicon XING Pengfei，ZHAO Peiyu，GUOJing，LIU Yan，IdFeng，TU Ganfeng (SchoolofMaterialsandMetallurgy，NortheasternUniversity，Shenyang110004) Abstract Cuttingslurrywasteofsolapgradesiliconmainlyconsistsofhighpuritysiliconabout30wt ，s．1j～ concarbideabout35wt ，polyethyleneglycolandwaterabout28wt ，andasmallamountofiron．Themethodsof recyclingcuttingslurrywasteinChinaarereviewed．Duringthecuttingprocessofsolar-gradesilicon，about50wt ofwhichislostsinceitiscutintohigh—purifiedsiliconpowderandbecomesapartofslurry．Mostofsolar—gradesili～ coninChinaneedstobeimported．Ifhigh—purifiedsiliconpowderinslurrycanberecycledandusedasraw materials forpreparingsolagradesilicon，itwillhasan importantsignificanceforbothresourcerecyclingandreducingsolar～ gradesiliconimports．Therecoverymethodsofhighpuritysiliconfrom slurryinothercountriesarealsointroduced． Keywords solarSi，curlingslurrywaste，recovery，high—purifiedsilicon，siliconcarbide，polyethyleneglycol 石油和煤炭等传统能源在 日益减少，能源危机迫在眉 醇(PEG)作为分散剂 、水作为溶剂组成 的水性切割液中，用 睫，而太 阳能因取之不尽 、用之不竭 、清洁环保和安全可靠等 金属丝带动SiC颗粒磨料进行研磨切割硅 (Si)[19,20]。由于切 独特优势成为人类解决能源危机、环境污染和全球变暖的首 割丝的直径和 Si片的厚度很接近 ，按理论计算会有 44 的 选新能源 。世界各发达国家纷纷制定鼓励太阳能产业发 多晶硅被切磨为高纯 Si粉进入到切割液，而实际切割过程中 展的政策 ，太 阳能产业进入 lr高速