22 水射流激光复合刻蚀的形貌对比.docVIP

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2017-08-02 发布于天津
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陶瓷激光刻蚀的研究谢兵兵袁根福江南大学机械工程学院无锡摘要以陶瓷复相陶瓷陶瓷实验材料利用射线能谱分析仪对表面微小区域进行成分过程中复相陶瓷复相陶瓷关键词激光刻蚀陶瓷陶瓷具有众多优良的高温力学性能硬度高耐磨性好抗化学腐蚀抗氧化热导率大热膨胀系数小广泛应用于石油工业化学工业轻工业机械工业等领域中主要用途为轴承喷嘴密封环阀片热交换器等陶瓷作为典型的难加工材料车削磨削等常规加工方法经常会出现材料断裂砂轮磨损严重切削力过大加工效率低等问题激光加工是一种无刀具无接触无切削力清洁的加工方法解决了传统机械加工中

SiC陶瓷激光刻蚀的研究谢兵兵，袁根福（江南大学机械工程学院，无锡 214122）摘要：以Al2O3陶瓷、SiC复相陶瓷SiC陶瓷实验材料，利用X射线能谱分析仪对表面微小区域进行成分，过程中SiC复相陶瓷SiC复相陶瓷关键词：激光刻蚀；SiC；SiC陶瓷； SiC陶瓷具有众多优良的高温力学性能，硬度高，耐磨性好，抗化学腐蚀，抗氧化，热导率大、热膨胀系数小，广泛应用于石油工业、化学工业、轻工业、机械工业等领域中，主要用途为轴承、喷嘴、密封环、阀片、热交换器等[1-2]。SiC陶瓷作为典型的难加工材料，车削、磨削等常规加工方法经常会出现材料断裂、砂轮磨损严重、切削力过大、加工效率低等问题