微弧氧化制备BaTiO3铁电薄膜的添加剂优选.pdfVIP

NONFERRoUSMETALS ENGINEERlNG doi：10．3969~．issn．2095—1744．2014．02．007 微弧氧化制备BaTiO3铁电薄膜的 添加剂优选 圈 I 敏 郭会勇 李文芳 1．广东技术师范学院机 电学院 广州 510665： 2．平高集团有限公司 河南 平顸 山467001： 3．华南理工大学材料科学与工程学院 广州5l0640 摘要 ：以纳米 BaTiO3、纳米TiO2、乙二醇、甘油和三 乙醇胺分别作为添加剂，在 O．5mol／LBa(OH)2基础 溶液中，采用徽弧氧化在钛板表面原位生长铁 电薄膜 ，利用XRD、SEM 、EDS和HP4284型电容探测 义『等对薄模的物相构成、厚度、表面粗糙度、元素分布及介 电性能进行表征 结果表 明，所得薄膜的物 相组成均主要是四方相BaTiO ，添加剂的加入对物相无影响。甘油可显著改善薄膜的表面形貌，降低 表面粗糙度值，所得薄膜介 电性能优越，100Hz条件下其介 电常数和介质损耗值 分别 为200．7和 0．055。纳米TiO 和乙二醇也可降低薄膜表面粗糙度且使薄膜生长速度升高，怛两者对薄膜介 电性能 的优化不及甘油。故欲获得表面形貌 良好 、生长速度较快且介 电性能优越的BaTi0 铁 电薄膜 ，可选 择甘油作为添加剂 、 关键词：BaTiO3；铁 电薄膜；徽弧氧化；添加剂 中图分类号：TN304；TGl74．442 文献标志码：A 文章编号：2095．1744(2014)02—0035—03 BaTiO 沁膜所具仃的铁I、介电及 电效心，使其 纳米 TiO2、乙二醇、Il1}‘Ilf和 i乙 版添』JIJ剂埘BaTiOj薄 光IU、通 、机械等领域仃肴J、泛的应_LfJ前景 ，成为近几 膜物相、薄膜生长速率、农 形貌、表I卡l1糙度技介电性 来新材料 究的热点之一。微弧氯化 (MicroarcOxida— 能的影响。 tion，MAo)作为…种表 处胛新技术 ，主要被用于镁、铝 合金农嘶制备i时縻、耐腐蚀膜 或其他功能性薄膜。[】S． 1实验 方法 V．Gnedenkov等I率先将 MAO心用于BaTiO 薄膜的制 从1业纯钛板(99．5％) 取 40mmx20mnix2mm 备以来， 内外先后订篓兆华 等众多学者研究了微弧氧 标准试样 ，用 180 800砂纸将 表mi脐光 ，J}J体卡l{ 化制符BaTiO 薄膜，然而研究j二作仍处j实验室探索阶 分数为 25％HF+75％HNO 混合液消洗，域 依次 大【j 段，尚仃许多fuJ题 待解决。前期研究表明9[-，微弧氧化叮 和蒸馏水 中清洗 ，吹 I符川 。 制 0．5molL／Ba(OH)溶液 “接制桥BaTiO 铁 电溥膜，fH 微弧氧化过程中存 弧 为基础 电解液，溶剂为能馏水。采川0’川42kW tf流 光放 电现象 使溥腆农 f[i『书、f糙【，膜 较疏松，薄膜 能受 MAO电源，微弧氧化过 r}铁板接翻1卡J乏。 I艺参数分别 剑影响。村j天文献指出I…，替 电解液 lJ力U入合适的添加剂 J仃‘效降低微弧氧化起]J乜 和稳态电J玉，增 1氧化膜层 基金项 目：广东省 自然科学基金资助项 目($20】) 的乍K迷度，捉商氧化膜的敛密度及 面质埽。 收稿 日期 ：2014—01—02 选择 0．5mol／LBa(0H)!为 础溶液，研究纳米BaTiO、 作者简介 ：王 敏(1978一)，女，浙江长兴人．讲师，顽+ ．主磁从 事材料表面工程等方面 的研究 有色金属工程 2014年第4卷第2期 35 _’ 丽 至里璺sMETAs．ENGNEERNG _殳 为 电流密度 20Mdm 、电流频率 l00Hz、反应时问