光电量测技术学期报告 雷射聚焦探头的原理与应用 指导老师：朱志良 .docVIP

光電量測技術學期報告 雷射聚焦探頭的原理與應用 指導老師：朱志良 教授 班級：車輛三甲 學號姓名：吳柳炎 摘要： 近年來，工業加工精度不斷提高，量測技術也需要有新的突破，許多新式量測儀器接連推出，如：光電位置感測器四象限感測器雷射掃瞄 前言： 由於科技進步的速度飛快，量測技術也漸漸成長，現在已經有許多設備採用AOI(Automatic Optical Inspection)即自動光學檢測，這種方式可以減少人工檢測的失誤，增加數據的可靠性，也可以加速產品生產的速度，可惜的是，這些設備的價格相對較高，令許多低階廠商望之卻步，如何開發價格低廉的且易於運用的檢測設備，將是未來的一大課題。 結構與原理： 目前市面上的雷射聚焦探頭，其內含之裝置包括：雷射二極體(Laser Diode，LD)、光檢測IC(Photodector)、繞射光柵(Grating)、偏極分光鏡(Polarization Beam Splitter，PBS)、1/4波片(1/4λPlane)、聚焦透鏡(Focus Lens)、圓柱透鏡(Cylindrical Lens)、準直透鏡(Collimator Lens)、音圈馬達(Music Coil Motor)等零件，其各部件的功用為： 雷射二極體： 雷射二極體由PN半導體所構成，注入電流後藉由電洞(帶正電荷)與電子(帶負電荷)的結合而產生光能。雷射二極體是透過激發的方式，故光線自然放射光集中。且只要將在共振器內來回放大的光線取出，即可得到大能量的光線輸出。 特長 功能 用途實例 ① 照明用燈(Pin Spot Light)可精確投射 照明 雷射顯微鏡、雷射手術、Pointing Marker等 ② 可利用其微米級的光點聚焦，高速讀取細微的訊號 讀取 光碟(CD、DVD)的讀取與寫入等 ③ 衰減量少，光線可傳達到遠方 測量 道路距離的測量、建築物高度的測量等 ④ 高速調變可傳送大量資料 通訊 PC、手機等的光學無線通訊 ⑤ Interference fringe容易作成，即使是很小的變化也可以偵測到 感測 可應用於火警警報器、雷射滑鼠等的感測功能 光檢測IC主要的目的是將所量測之雷射光的位置轉換成電壓訊號。在此，我們使用的光檢測IC為四象限光電感測器(Quadrant Photo Position Detecter, QPD)。當位置產生偏移，光電感測器便會電壓，可藉此判斷的情況。 1/4波片： 四分之一波片，即刻波片(Quarter Waveplate)，可以實現特定波長的線偏振光與橢圓偏振光的相互轉換。如果角度滿足45度，橢圓變成正圓，而當線偏振方向與波片光軸方向角分別為正、負時，圓偏振光的手性可以被操縱為左、右。 偏極分光鏡： 偏極分光鏡(Polarization Beam Splitter: PBS)，是由兩個45度角的等腰直角形棱鏡底邊粘合而成的棱鏡，當非線性偏極化光入射PBS時，PBS會反射入射光的s偏光（垂直入射線平面），並且讓p偏光（平行入射線平面）通過。 聚焦透鏡： 聚焦透鏡又稱為梯度折射率透鏡，是指其內部的折射率分布沿徑向逐漸減小的柱狀透鏡。由於梯度折射率透鏡具有端面聚焦和成像特性，加上它圓柱狀小巧的外形特點，可以在多種不同的微型光學係統中使用更加方便。應用於要求聚焦和準直功能的各種場合 準直透鏡： 準直透鏡可以使發散光束變成平行光束。該透鏡可對紫外線、可見光、近紅外線等譜段進行優化。 圓柱透鏡： 可改變雷射光射出型態 音圈馬達： 在此未實際運用，因此不做解釋。 其雷射路徑為：由雷射二極體產生雷射，經過光柵之後產生繞射，分成三道光束，經過偏極分光稜鏡與四分之一波片後原來的線偏極光變為圓偏極光，同時也經過準直透鏡將雷射光束變成一準直光束，最後落到光檢測IC上，形成一點，我們便可經由此點來判斷光的位置。 應用： 對於沒有達到鏡面表面的加工件，我們可以使用接觸式的量測工具，但鏡面便不同了，因接觸式量測儀量測時，會接觸到量測物表面，此舉可能會對量測物表面造成損傷，這時就需要非接觸式的量測工具：雷射聚焦探頭上場了。 量測階梯狀之鏡面表面： 為了量測具有階梯狀的物體表面，我們必須先對其表面加工，使物體表面得以反射雷射光。此外，在量測前，需要先量測物體的表面粗糙度是否在容許範圍，若超過鏡面的容許範圍，誤差量較大。階梯狀之物件圖示如下： 分析量測件之表面平坦度： 如上一個例子所述，此量測物之表面也必須是鏡面，在量測前也需要先測定表面粗糙度，除此之外，掃瞄之前，需要先輸入X－Y方向之掃瞄範圍，並測定取樣點數，方可進行量測。 量測3D工件： 3D物件在輪廓上，比平面多了許多變化，大致上有凹凸、直線、圓弧三種，增加了量測的困難度，因此，雷射聚焦探頭僅能對平面階級狀的3