以电化学沉积法制备奈米氧化锌薄膜.docVIP

南台科技大學 九十九學年度畢業專題成果報告 專題名稱:以電化學沉積法製備疏水性 奈米氧化鋅薄膜 系 所： 機械工程系 指導老師： 王聖璋 教授 專題學生：沈冠宇 潘誼霖 專題生：沈冠宇、潘誼霖 指導老師：王聖璋 南台科技大學 機械工程系 本實驗經由晶種層塗佈(鍍金法)及電化學沉積兩步驟方法來製備疏水性奈米氧化鋅薄膜。藉由改變電解液或電化學沉積的參數可改變晶體的生長形狀及疏水特性，並以X光繞射儀鑑定其結構相，而表面型態使用掃描式電子顯微鏡觀察得之、以高解析穿透式電子顯微鏡觀察其微結構、接觸角量測儀量測其接觸角。結果顯示，使用醋酸鋅進行電化學沉積氧化鋅膜表面結構為花朵狀，而使用硫酸鋅進行電化學沉積的試片表面結構為片狀。所製備出的氧化鋅奈米薄膜擁有奈米級的孔隙，使得空氣被保留在孔隙中，因而具有良好的疏水性質，與水的接觸角能達到130°以上。 關鍵字： 1. 前言 氧化鋅為II-VI族的多用途化合物半導體，是一種具有寬能隙的半導體材料(為六方晶結構 (hexagonal structure))，室溫下帶隙約3.3eV，激子束縛能高達60meV，使其具有在室溫下發出紫外光的能力。氧化鋅具有光電導特性、壓電特性、聲光效應以及電光效應等特性，已廣泛的應用在光檢測器、表面聲波元件、氣體偵測計、調變器、紫外光發光二極體與雷射以及太陽能電池等元件中 而伴隨著環保意識的抬頭，使材料表面具有超疏水的特性是很多科學家努力的目標。表面自我清潔的能力，在自然界的植物中是非常常見的，例如在蓮花葉面上不會沾附髒污的特性，也就是所謂的「蓮花效應」(Lotus Effect)。之所以會有疏水特性，是因為蓮葉的表面上有一根根盤交錯結的纖毛狀的物體，其為尺寸大小100～200nm的蠟質結構。而纖毛狀的蠟質結構主要是提供粗糙的表面及低表面能的化學物質，將空氣保存在這層結構中，在蓮葉表面形成一層氣墊，減少外來汙染物與蓮葉的接觸面積，來造成疏水的特性[5]。而目前有很多文獻在探討奈米結構對疏水性的影響，例如奈米線陣列[6]、奈米柱[7]和改變基板表面結構的化學性質[8]。而使用氧化鋅做為生成材料的原因，是因為其合成方便且價格便宜。如果又能做出具有太陽能電池功能的奈米氧化鋅薄膜，又具有疏水性，那將會存在著很大的商機。 電化學沉積法為一種電解的過程，是在製品的外表上產生一層均勻金屬薄膜的技術，其原理是將鍍件當成陰極，浸於含欲鍍金屬離子的電解液中，另一端置適當陽極，而施加直流電，當鍍件表面偏壓至較負的電位時，金屬離子便會還原成金屬原子而沉積在物體表面上。 本研究是使用電化學沉積法在玻璃基板的表面生成一層類似蓮葉表面的奈米結構，在不改變其表面的化學性質的前提下，利用電化學沉積法，製備出有疏水性的奈米氧化鋅薄膜結構。 2. 實驗方法 2.1 玻璃清洗及鍍金 將玻璃置於丙酮中震盪清洗5分鐘，之後置於含有磷酸和硫酸(比例3：1)的混合溶液中酸洗，加熱至60°C，持續30分鐘。酸洗結束後，取出使用去離子水震盪清洗1分鐘之後，使用高壓氣體噴槍，將玻璃表面之液體吹乾。 之後將清洗完的玻璃置於鍍金機內(型號HITACHI E-1010，Japan)，抽氣至10 Pa，開始鍍金100-150秒。 2.2 氧化鋅電解液配製 電解液主要為硫酸鋅和醋酸鋅2種。金屬鹽類溶液主要作用是提供反應中鋅離子的來源，藉由固定金屬鹽類電解液的濃度，來觀察不同的鍍金時間下，不同的金屬鹽類對於鍍金玻璃表面生長的奈米結構的影響。 2.3 電沉積系統的架設 本實驗採用三電極式電解槽，主要是使用電腦控制恆電位儀(VoltaLab PGZ-301，France2.4 實驗流程 將前處理完且鍍上金晶種層的康寧玻璃，置於含有0.05M的醋酸鋅((CH3COO)2Zn·2H2O)或是硫酸鋅 (ZnSO4·7H2O)電解液中，將恆電位儀設定使用定電流-0.76mA開始進行電化學沉積，在室溫下，持續時間為30-60分鐘。電化學沉積結束後，使用FE-SEM(JEOL JSM-6701F，Japan)和STEM(Philips Tecnai G20，Netherlands)觀察其表面形貌及EDX分析，並使用接觸角量測儀(AST Product.INC VCA-2500，USA)量測其接觸角。 3. 結果與討論 3.1 XRD分析 圖一為奈米氧化鋅薄膜的XRD圖，參數為鍍金150秒、電化學沉積60分鐘，曲線(A)使用電解液為醋酸鋅，曲線(B)為硫酸鋅。與標準卡(JCPDS 21-1486)對照具有相同的ZnO結構，峰值為(110)、(11