利用扫描电镜和原子力显微镜测量纳米微孔阳极氧化铝膜.pdfVIP

维普资讯 实验技术 利用扫描 电镜和原子力显微镜测量纳米 微孔阳极氧化铝膜木 任 刚。， 许如清 韩 立。 陈皓明。 (1 清华大学物理系扫描探针显微镜实验室 北京 100084) (2 清华大学物理系原子分子纳米科学研究中心 北京 100084) 摘 要 利用多孔型阳极氧化铝膜 (PAA)制备纳米材料是近年来研究的热点之一，对 PAA的形貌进行准确的 表征具有重要的意义．文章首先分析了传统的扫描电镜 (SEM)观测方法 中镀膜工艺对样 品和测量结果的影响，并 提出了对镀膜过渡区进行观测的方案．然后着重研究了利用原子力显微镜(AFM)对PAA进行无损测量的方法 ，比 较了不同测量模式下的测量结果，并利用Reiss模型对 “针尖一样品卷积效应”进行了有效的修正．文章的研究结果 不仅适用于多孔型阳极氧化铝膜这一研究领域 ，对于纳米多孔材料的测量也有普遍的参考价值． 关键词 AFM，SEM，多孔型阳极氧化铝膜，纳米 ⅣⅡ￡ASUREMET oF NANoSCALE PoRoUSANoDIC ALUⅣⅡNA BY SEM AND AFM RENGang．- XURu—Qing HANLi CHENHao—Ming (1 LaboratoryofSPM ，DepartmentofPhysics，TsinghuaUni~rsity，Be ng 100084，China) (2 CenterforAwmwandMolecularNanosciences，DepartmentofPhysics，TsinghuaUm~rshy，Belling 100084，Ch／na) Abstract Thefabricationofnanoscalematerialswithporousanodicalumina(PAA)isanimportantre— searchtopic，forwhich itisnecessarytomeasurethetopographyofPAA withhighaccuracy．Theinfluenceof goldplatingonsamplesnadthemeasuriedscanningelectronmicroscopyresultsalepresented．Then，themeth— od tomeasurePAA nondestructivelybyatomicforcemicroscopyisinvestigated．Thevariousresultsunderdiffer- entme~uringmodesarecompared．na dtheinfluenceofthe”tip—surfaceconvolution”ontheresultsisre— vised．Th esignificanceofthisreserachisnotonlyin thepo rousanod icalumiaresearchfieldbutalsoin the measurementofnnaoscaleporousmaterials． Keywords AFM ，SEM ，porousnaod icalumina，nnaoscale 到孔中，可以得到金属和半导体的纳米线阵列，这种 1 引言 纳米线阵列在光谱性质和磁学性质上都显示出明显 的量子效应-z ；将催化剂沉积到孔中，则可以大大 在小电流、恒温、酸性反应溶液中对高纯铝进行 提高催化剂的催化效率，同时避免了催化剂的堵塞 阳极氧化，可以得到高密度、高纵横 比、同生长方向