SPI no.7 扫描探针显微镜观察硅单原子台阶.PDFVIP

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2017-06-28 发布于天津
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SPI no.7 扫描探针显微镜观察硅单原子台阶

上海浦东新区张江高科技园区碧波路690 号2 号楼102 室（201-203） TEL: (86)-21-5027-3533 FAX: (86)-21-5027-3733 SPI no.7 扫描探针显微镜观察硅单原子台阶 1997.11 测量是在大气中用轻敲模式（ DFM）进行的。样品是用 UHV－STM （超高真空扫描隧道显微镜）通电加热进行清洁，确认具有单原子台阶结构的硅基板。可以观察到 1个原子台阶的高度为 0.3 nm左右、平台的宽度约为 50 nm。因为是在大气中观察，所以虽然台阶的表面已被氧化，但还是保持台阶的高度。原子力显微镜能够高敏感度地观样品表面的微小变化，对基板及其上面形成的薄膜（ Au、Pt等金属膜、超传导薄膜、 IOT、润滑剂、 Resist、LB膜、SAM膜…）的形貌评价和表面粗度测量很有效测样的样品：在超高真空中通电加热确认了单原子台阶结构的硅基板 Scan area：500nm□