特种加工机床标委会召开五届四次会议暨标准审查会议.pdfVIP

《 电加工与模具》2017 年增刊 1 设计·研究 的切深，表面粗糙度值可达Sa90 nm 。 4.5 材料去除率 280 （2 ）随着输出电流、阻抗阈值、研磨速度及研磨 ） 表面粗糙度 260 1- n 4.0 240 时间的增加，超声研磨蓝宝石的材料去除率均呈先 i m m n 3.5 / · 220 a 增大、后减小的趋势。 为使材料去除率达到最大，应 g S m 200 （ 度 / 3.0 180 糙 选择输出电流为 300 mA 、阻抗阈值为300 Ω 、研磨 率 除 2.5 160 粗 速度为5 mm/s 、研磨时间为25 min 。 去 面 料 140 表 材 2.0 120 （3 ）随着输出电流、阻抗阈值、研磨时间的增 1.5 100 加， 超声研磨蓝宝石的表面粗糙度值均呈先减小、 5 10 15 20 25 30 后增大的趋势；同时，表面粗糙度值随着研磨速度 研磨时间/min 的增加缓慢增大。 当输出电流为300 mA 、阻抗阈值 图 研磨时间对材料去除率及表面质量的影响 8 为320 Ω 、研磨时间为 20 min 时，可获得良好的表 将蓝宝石表面的初始形貌完全磨平，表面质量主要 面质量。 取决于材料表面初始形貌， 表面粗糙度值较大；随 着研磨时间的增加， 表面不平整性被完全去除，这 参考文献： 魏恒，刘玉岭，陈婷，等 蓝宝石衬底表面粗糙度的研究 一阶段的材料表面质量完全取决于磨料的研磨能 [1] . 半导体技术， ， （ ）： 力，表面粗糙度值较低，但减缓速度较慢；当研磨进 [J]. 2009 34 8 741-744. 周平 单晶蓝宝石的延性研磨加工研究 杭州：浙江 入第三阶段后，表面粗糙度值反而增大，主要是因 [2] .