电子整流二极管硅芯片洁净车间的节能设计方法及探讨.pdfVIP

工 业 技 木 2o16年第27期 I科技创新与应用 电子整流二极管硅芯片洁净车间的节能 设计方法及探讨 王树梅 祁学军 段振 国 (安徽国关净化工程有限公司，安徽 蚌埠 233000) 摘 要：随着我国电子行业的快速发展，越来越多电子制造的厂家普遍采用洁净厂房的生产和制造，而 电子洁净车间的能耗较 大，洁净室耗能为一般空调系统的5倍以上。我国既是能源大国又是能源贫国。随着国民经济的快速增长，我国能源需求增长较 快，一些地 区甚至发生 了不同程度 的能源紧张局面，同时能源的过度使用又会带来不同程度 的环境污染。因此节约能源成为我 国 经济可持续发展的重要战略之一。提高洁净室的节能技术水平，是我们需要研究和探讨的课题。采用节能型电子洁净车间的设 计，为社会节约等多的能源，在保证产品质量的前提下为用户带来更大的经济效益，是净化工程设计、制造及装配行业发展的必 然趋势，文章作者就在电子二极管过芯片洁净车间设计过程中采用的节能设计方法与效果评价做一些探讨，为净4~_r-程行业的 节能设计提供一些有益的参考，以利于行业节能设计技术的提高和发展。 关键词：电子洁净车间；节能设计 ；探讨与评价 1概述 是空气。根据流体力学的基本定律可知 ：风机的流量与其转速成正 在现代整流电子二极管硅芯片生产制造的工厂中，生产线需要 比，压力与其转速的平方成正比，风机的轴功率与风机转速的立方 一 个洁净的环境 ，才能保证硅芯片产品质量，这也是整流二极管硅 成正比。当风机转速降低时，风机的轴功率所需的电功率也相应降 芯片生产制造的最基本的条件之一。在这种环境下，加工车间内的 低。本设计方案就是通过调速方式改变风机风量，当实际风量下降 空气中的一定空间范围内的空气中的有害空气 、微粒子、细菌等污 一 半时，即：假如转速N2／N1降低 12／，则功率P2／P1=1／8由于轴功 染物得以净化排除，同时净化工程系统将保证洁净生产线制造车间 率 (耗 电)与转速的三次方成正比，因此可节电8％的效果(在不考虑 内的洁净度、温湿度 、压力、气流分布与气流速度噪音、振动及静 电、 其它因素的情况下)。净化工程系统有许多设备在净化设备运行中 照明、整洁度 、规范性控制在产品工艺要求 的范围内。 有 40％的时间都是负荷不满或运行时有峰谷时间现象存在，在我们 文章作者通过参加某个电子二极管硅芯片洁净车间的设计、安 设计这套系统时，按照我们 以前的惯例，就是采用交流电动机恒速 装与调试的实例及平时积累的工作经验，并结合国内外同行在在电 传动的设计方案运行 ，靠控制风门的大小来调节风机，或者是靠阀 子二极管硅芯片洁净车间节能设计技术的经验的基础上，对洁净室 门调节的泵类设备，这种设计方案实践证明使用效率较低，消耗大 系统的工程的节能设计、制造及安装调试方面进行分析，提供了较 量的能源。因此我们采用了交流电动机变频调速控制系统。 为先进的设计方法，做出了较为合理的分析与评价。 三是照明选用节能效果好的LED灯 ，LED灯消耗能量较同光 电子二极管硅芯片洁净车间，亦称为无尘室或洁净室。它的主 效的白炽灯减少80％左右，较一般节能灯减少 40％左右。 要功能就是将 电子二极管硅芯片制造环境空气中的有害细菌、有害 2_3采用新的节能技术 气体、有害微粒子等的污染物排除，并将制造车间内的气流速度与 一 是采用余热回收利用技术。电子洁净车间内的温度 ，夏季比 气流分布、湿度、温度 、洁净度、室内压力、噪音分贝、机械振动及照 室外空气温度低，冬季比室外空气温度高 ，我们在排气系统设计时 明、静电控制在某一需求的范围内，同时洁净室设计还可以保证生 应用了热管热交换器，该交换器具有传热效率高、结构紧凑 、流体阻 产车间内的生产线整齐规范，有利于产品的现场管理，使 电子二极 损小等优点，采用该交换器回收余热，作为室外的预冷及预热。此种 管硅芯片产品能在一个较好的环境中生产、制造和储存，有利于保 设计方案在实际应用中，作为电子洁净车间废热回收和工艺过程中 证产品质量，提高产品性能。