PECVD_training剖析.ppt

石墨舟 Preheat Dep. Chamber 工艺控制要求 经PECVD镀膜后减反射膜厚度约80nm 表面折射率平均目标值应为2.00-2.10 检测仪器：椭偏仪 第四部分 生产操作 四、工作流程 1、工艺准备： A.工艺洁净管理 进入车间必须穿戴工作服，操作时戴洁净的手套、口罩。并且保证每班清理现场及设备卫生，以保证车间的洁净度。 B.设备准备 确认设备正常运行,工艺真空度要求、工艺温度、冷却水压力、特气压力及流量正常. C.原材料准备 检查RANA湿法刻蚀后的硅片,将合格硅片传送至DEPX加载位置，准备生产；不合格片不能投入。 D.确认设定的PECVD工艺程序，并开始自动运行工艺. 2、工艺操作 （1）机械装片 机械手自动传送至DEPX2400. （2）自动装舟 自动上片，机械手依次装满3×4的carrier，然后，进入LOADLOCK IN进行抽真空等步骤 （3）LMS传送系统 磁悬浮轨道的自动传送，使carrier在整个真空环境下与底部导轨无接触的传输。 （4）unloader和CRT自动系统 镀膜完硅片的自动卸载，carrier的再动返回系统 （5）手动取片盒 首先将一排的3个cassette依次取出，然后放到指定位置或传送至下道工序印刷。 注意事项：取片盒时一定要轻，防止硅片掉出片盒增加不必要的碎片，保持cassette的竖直取放和移动。 （6）将合格硅片随流程单一起转下工序。严禁不合格硅片转入下道工序。 注意事项：常见不合格硅片有崩边、缺角、裂纹、碎片、变色、斑点、穿孔、颜色不均匀等。 3.工艺循环 重复2的操作，按照设定工艺程序进行工艺循环,此过程为自动运行。 注意事项:工艺过程中应循环检查设备运行情况，气体流量、工艺温度、辉光状态等参数情况。 安全操作 1.员工须经相关专业培训后方能上岗，且严格按照本工序设备安全操作规程和工艺操作规程作业。 2.硅片的装卸应该在标准为万级的洁净环境下进行，注意保持车间及操作台洁净度，进车间前要经过风淋，进出车间时随手关门。 3.员工操作时不可触摸硅片表面。 工作流程 1.班前会留出必要人员工作外，其他交接班员工和接班组长列队站立，由交班组长传达公司及车间命令，讲述生产和设备情况及其它需要注意得事项，做到简单明了，政令畅通。 ２.交接内容：Ａ．交接记录本．工作日志．Ｂ．生产工具　Ｃ．半成品　Ｄ．环境卫生　Ｅ．生产设备运行是否正常，都有哪些故障，维修进度如何。F、车间的各种指示G、生产任务的安排 H、生产质量有何问题，在什么情况下发生的，有没有解决的方案I、工艺参数有无变化 J、卫生状况如何。 3.班前检查：检查氩气、氮气、硅烷、氨气、冷却水、设备主体、真空泵等是否处于正常工作状态。 4.其它工作准备，如生产表格的打印、劳保用品的领用 5.操作流程 ＰＥＣＶＤ 张晓辉 2009年7月 PECVD 全称： Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition 等离子体增强型化学气相沉积 主要内容 第一部分：安全知识 第二部分：工艺及设备 第三部分：工艺流程 第四部分：生产操作 第一部分：安全知识 氨气泄露紧急处理方案 硅烷泄露紧急处理方案 一.氨气 1.健康危害：无水氨气是一种刺激性、无色、可燃的储存于钢瓶的液化压缩气体。氨气会严重灼伤眼、皮肤及呼吸道。当它在空气中的浓度超过15%时有立即造成火灾及爆炸的危险。 进入浓度超过暴露极限的区域要佩戴自给式呼吸器。大规模泄漏时需要全身防护服,并应随时意识到潜在的火灾和爆炸危险。 2.中毒症状： 眼接触：暴露在氨气中会对眼睛造成中度到重度的刺激。 吸入 ：氨气强烈地刺激鼻子、喉咙和肺。症状可能包括灼伤感、咳嗽、喘息加重、气短、头痛及恶心。上呼吸道易受到伤害并导致气管炎(封闭气路)。 皮肤接触：接触蒸汽会造成刺激和灼伤。接触液体会造成组织冻伤并伴有碱性灼伤和脱水。皮肤长期或多次暴露会引起皮炎。 3.急救措施： 眼睛接触：用大量的水冲洗，立即进行医疗处理。 吸入：将人员移到空气清新处，若已停止呼吸，采用人工呼吸，若呼吸困难，则输氧，并迅速进行医务处理 皮肤接触：用大量的水冲洗，立即脱掉被污染的衣服。如皮肤接触液体，脱掉被污染的衣服，用大量温水冲洗几分钟，并立即进行药物处理。 4.个人防护设备： 通风：应有良好的自然通风或 强制排空，保证气体浓度低于暴露极限。 对眼的保护: 当搬运钢瓶时要佩戴安全眼镜。当连接、断开气路或打开钢瓶阀时需要防护眼镜和面罩。 对皮肤的保护: 当搬运钢瓶时要使用皮手套。当连接、断开钢瓶时需要橡胶或氯丁手套及化学防护服。当进入大规模泄漏区是需使用全身封闭防护服。 其它防护设备：当搬运钢瓶时建议穿