PECVD介绍剖析.ppt

目 录 3）打开门，将此炉门气动阀上的两个气管拔下，上面的调节阀不要动。并将气管的头对折后用紧扎带绑紧，防止压力阀开启后漏气。 19.unloading boat 退舟 20.end of process 结束工艺 PECVD操作注意事项（下面罗列的每一项都有可能导致石墨电极损毁或者设备损坏） 1.SLS处于“UP”位置时，管内有舟时不可手动进桨。 2.SLS处于“Down”位置时，桨上有舟时不得手动进舟。 3.桨上有舟时,舟不在正确位置,不准切换到自动运行状态。 4.进舟，退舟失败报警时，一定要检查舟的位置是否在合理的位置，才可以对报警进行复位。自动/手动的切换要谨慎。若舟不在正确位置， 请手动移动到正确的位置后再对报警进行复位（炉门是以桨的位置作为开闭的标准）。图（4）（5） 5.舟位于存储架（storage2，storage3）时，一定要确认存储架上的感应器有没有感应到。图（2）（3），否则有可能导致撞舟。 6.清理碎片时要注意热探针（两根玻璃棒）清理结束后一定要将热探针放于管子的中间位置，否则进退舟时有可能被撞掉。图（6） 7.从手动切换到自动状态时，机械臂一定要在Middle位置，否则机械臂有可能无法正常运行而报警。图（7） 8.进退舟时，小车不得混用，并且务必确认小车有无被缩定。 9.进舟后，工艺无法正常运行时，先确认舟在桨上的位置，以及Tube=ready，SLS=up，TGA=yes，然后进行其他操作 10.小车被锁定后，不得转动石墨电极的方向。图（7）否则石墨电极会撞到桨或者机械臂 11.石墨电极的电极孔方向在进舟时不得搞错，否则有可能撞坏高频的两根电极。 二：特气的安全 岗位安全 岗位安全 PECVD工艺流程 PECVD工艺流程 真空管 炉管 压力 手动开门步骤 10000 最大最小值 气体 氮气 气体阀 Open/Close打开/关闭 Open/Close 舟 位置 设置点 进舟/开门 2082/10 手动开门步骤 1、Manual Tab Vacuum Tube Pressure 手动 切换 真空管 炉管 压力 Mininum 最小值 2、Manual Gas N2NO Valve Open 手动 气体 氮气 气体阀 打开 3、Manual Gas N2NO Valve Close 手动 气体 氮气 气体阀 关闭 手动开门步骤 4、Manual Boat Position Setpoint 输入10 手动 舟 位置 设置点 手动开门步骤 一.舟的安全 1.在推舟过程中，必须双手操作，应采取轻、慢、稳，在规定的区域内推车。 2.进出舟时必须有人看守机器，防止机器发生故障而导致不必要的安全事故。 3.小车上的石墨舟在无人的情况下必须是水平放置以防石墨舟倾斜掉落。 4.取舟时必须是双人操作，二人抬舟放于小推车上。 岗位安全 无水氨气是一种刺激性、无色、可燃的储存于钢瓶的液化压缩气体。其存储压力为其蒸汽压14psig(70℉)。氨气会严重灼伤眼、皮肤及呼吸道。当它在空气中的浓度超过15%时有立即造成火灾及爆炸的危险，因此进入这样的区域前必须排空。进入浓度超过暴露极限的区