项目九 数字式传感器.ppt

数字式传感器 一、光栅的结构和莫尔条纹现象 在一块长方形镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹(又称为刻 线)，这就是光栅，图9-1所示为透射光栅的示意图。 的遮光和透光效应形成的。当夹角θ减小时，条纹间距BH增大；反之，条纹间距BH减小。 两光栅线纹夹角θ之间的位置图 1位移的放大作用 当光栅每移动一个光栅栅距W时，莫尔条纹也跟着移动一个条纹宽度BH，如果光栅作反 向移动，条纹移动方向也相反。它们之间的位置关系如 图9-3所示。 两个光栅中一个光栅固定不动，称为指示光栅；另一个移动的光栅称为标尺光栅，又称为 主光栅。主光栅相对指示光栅的移动位移就是被测位移。因此，被测位移每移动一个栅距 W，莫尔条纹移动一个间距BH，这时在指示光栅后面的光电元件就可以得到一个脉冲信号，通 过计数脉冲信号的数目n，就可以得到被测位移x的大小。它们之间的关系为 2莫尔条纹移动方向 光栅每移动一个光栅间距W，莫尔条纹同时移动一个条纹宽度BH。如果光栅1沿着刻 线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向上移动；反之，当光栅1向左移动时 莫尔条纹沿着光栅2的栅线向下移动。因此，根据莫尔条纹移动方向就可以对光栅1的运动 进行辨向。 利用光栅莫尔条纹现象，可以通过测量莫尔条纹的移动数，来测量两光栅的相对位移；可以通过测量莫尔条纹的移动方向，测量光栅的移动方向；可以利用莫尔条纹的误差平均效应，进行精密位移测量。 标尺光栅一般固定在被测物体上，且随被测物体一起移动，其长度取决于测量范围；指示 光栅相对于光电元件固定。光栅读数头的结构示意图如图9-4所示。 根据前面的分析，我们知道莫尔条纹是一个明暗相间的带。由图9-2可以看出，两条暗带 中心线之间的光强变化是从最暗到渐暗，到渐亮，一直到最亮，又从最亮经渐亮到渐暗，再到最 暗的渐变过程。标尺光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期2π，当用光电元件接收莫尔条 纹移动时产生的光强变化，如以电压输出，可得到如图9-5所示的曲线，接近于正弦周期函数。 其值可以用公式表示为 由公式(9-5)可知，光电元件输出的电压信号反映了位移量的大小。当x从0变化到W时，相当于角度变化360°，如果光栅再移动一个栅距时，相当于角度又变化了360°。设其变化的频率为f，则 f＝x／W 2光栅数显表 光栅读数头实现了位移量由非电量转换为电量的过程。位移是向量，因而对位移量的测量除了确定大小之外，还应确定其方向。为了辨别位移的方向，进一步提高测量的精度，以及实现数字显示的目的，必须把光栅读数头的输出信号送入数显表作进一步的处理。光栅数显表由整形放大电路、细分电路、辨向电路及数字显示电路等组成。 得到两个相位差π／2的电信号u1和u2(图中波形是消除直流分量后的交流分量)，经过整形后得两个方波信号u′和u′2。图96辨向的工作原理及其逻辑电路 (2)细分技术 在前面讨论的光栅测量原理中可知，以移过的莫尔条纹的数量来确定位移量，其分辨率为光栅栅距。为了提高分辨率和测量比栅距更小的位移量，可采用细分技术。所谓细分，就是在莫尔条纹信号变化的一个周期内，发出若干个脉冲，以减小脉冲当量，如一个周期内发出n个脉冲，即可使测量精度提高到n倍，而每个脉冲相当于原来栅距的1／n。由于细分后计数脉冲频率提高到了n倍，因此也称为n倍频。细分方法有机械细分法和电子细分法两类，下面介绍电子细分法中常用的四倍频细分法，这种细分法也是许多其他细分法的基础。 图9-7四倍频细分法光电元件安装示意图 图9-848点细分原理图 由＝2πi／n时，Ui＝0使过零比较器电平翻转，输出细分信号。用电桥细分法可以达到比较高的精度，但是电路比较复杂，对电路中元器件的精度和稳定性要求较高。同样，还可以实现细分的方法有：电平细分法，调制信号细分法和锁相细分法等，具体实现方法请参考相关资料。 零位光栅分单刻线的零位光栅和多刻线的零位光栅。单刻线的零位光栅刻线是一条宽度与主光栅栅距相等的透光狭缝，即在主光栅和指示光栅某一侧再刻制一对互相平行的零位光栅刻线，与主光栅用同一光源，经光电元件转换后形成绝对零位的输出信号。多刻线的零位光栅通常是由一组非等间隔、非等宽度的黑白条纹按一定的规律排列组成。当零位光栅从重叠位置开始相对移动时，透过线缝的光通量随位移的变化而变化，经光电元件转换后形成绝对零位的输出信号。 1光栅式万能测长仪图9-10所示是一种光栅式万能测长仪工作原理图。其主光栅采用透射式黑白光栅，光栅栅距W＝001mm，指示光栅采用四裂相光栅，发射光源采用红外发光二极管，接收采用光电三极管，两光栅之间的间隙为002mm~0035mm，利用四裂相指示光栅获得四路信号，经放大、整形、细分和辨向电路，进入可逆计数器计数，同时由显示电路显示。 2圆