基于si3n4 探针的单晶硅表面小线宽结构的摩擦诱导 - 科学网—博客.pdfVIP

第 20 卷 第 6 期 （自然科学版） Vol. 20 No. 6 2014年12月 JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE) Dec. 2014 DOI: 10.3969/j.issn.1007-2861.2014.04.006 基于 Si N 探针的单晶硅表面小线宽结构的 3 4 摩擦诱导纳米加工 姚洋洋, 陈 磊, 郭 剑, 钱林茂 (西南交通大学 牵引动力国家重点实验室 摩擦学研究所, 成都 610031) 摘摘摘要要要: 针对传统纳米加工方法存在 的操作复杂和成本 昂贵等 问题, 提 出采用 以表面 自然氧化 层作为掩膜, 结合 Si N 探针扫描和 KOH 溶液后续选择性刻蚀 的摩擦诱导纳