MAuFFUDCC常用系统及控制简介.docxVIP

1MAU+FFU+DC详细介绍目前电子行业洁净室常用的MAU+FFU+DC系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU通过空气循环过滤保证洁净度，而DC是来除去室内的显热从而保证室内的温度。(1)MAU(Make—uDAirUnit)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。(2)FFU(FanFiherUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。FFU的风机均采用外转子电机以减小高度，一般配有电子式过载保护开关、故障指示灯，故障输出节点，有传统的低、中、高三档交流控制，目前直流变频控制亦越来越应用在洁净等级比较高的系统。早在上个世纪6O年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位：噪声较大问题；压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。但是这一切，在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。现在，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级，而FFU系统本身也有着其独特的优势，主要包括以下几点：①灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。②可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。③负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于沽静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。④缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。⑤减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。⑥节约空间。相比较RCU+HEPA系统，MAU+FFU+DC系统占用送风静压箱内较少层高，且基本不占用洁净室内空间。而RCU不论是吊挂在天板上方还是设置在洁净室，均占用不少空间。(3)DC(Drycoil)干盘管大循环量的汇丰的冷却就是由排数少、迎面风速低、水温高(12～1712)的干盘管承担，由于该冷却盘管的表面温度高于回风的露点温度，换热器的表面没有液体水洗出，即没有冷凝水，只是除去了室内空气的显热，故称其为干盘管。干盘管一FFU系统与其他方式相比较有以下几条有点：①灵活性大，满布率高。对于Ic工厂而言洁净空调系统的灵活性是非常重要的，其随着市场产品更新换代快而带来的变更会很多的。若果车间内洁净度随工艺变化而需做局部区域性调整时，可通过改变FFU风量或置换盲板来改变局部区域的洁净度。档密集不只是，漫步率可达85．5％。②FFU上部顶棚为负压，可起负压密封的作用。顶棚内呈负压，洁净室内空气压力大于顶棚内的空间。如果FFU与支架密封处有缝隙，则由于顶棚内为负压使得未经高效过滤器的空气不能进入室内，对保证洁净室的洁净度有力。③空气流动系统的阻力小，出风口的风速低。干盘管的迎风面积较大，空气流动阻力在50Pa左右；回风道阻力在15Pa以内；多孔及格栅等的阻力较小。回风全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干盘管阻力及高效过滤器的阻力，总和在250Pa以内。FFU的出口风速一般在O．38～0．45m／s范围。④单位风量的能耗较低。采用FFU后不需要再增设加压风机，风机化整为零，不需专设机房，同时取消了送风管路的阻力。当FFu采用DC／EC(电子整流)电机时，出口风速