聚苯乙烯球微影技术制作宽频谱抗反射次微米仿生结构 - 先进工程学刊.pdfVIP

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2017-08-02 发布于天津
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聚苯乙烯球微影技术制作宽频谱抗反射次微米仿生结构 - 先进工程学刊.pdf

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先工程刊第七卷第四期微奈米暨生微聚苯乙烯球微影技作抗反射次微米仿生李有璋周宇哲郡摘要次波仿生具有的抗反射特性因此逐取代的抗反射膜用於太能池以增加光效率本研究利用奈米球微影配合段式刻技成功的在矽基板表面作不同表面形貌以及高度超的次微米列其中的抗反射效果最佳在波中可有效反射率抑制在以下次微米仿生抗反射聚苯乙烯球微影了少表面反射上在太能池表面上或多折射率介於基板空的介矽材料泛的被用於今的半中如太材料如如氮化矽氧化矽氧化薄膜能池微子以及微等其中太能池由以破性干涉到抗反射的效果但是薄膜程需要於具有零染且能

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