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三维阵列电极粒子像素辐射探测器的终端结构仿真研究.pdf

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中国科学技术科学年第卷第期中国科学杂志社论文三维阵列电极粒子像素辐射探测器的终端结构仿真研究胡海帆王颖陈杰哈尔滨工程大学信息与通信工程学院哈尔滨中国科学院微电子研究所北京收稿日期接受日期教育部科学技术研究重大项目批准号和高等学校博士学科点专项科研基金批准号资助项目摘要在新型绝缘衬底上硅互补金属氧化物半导体粒子像素探测器关键词结构基础上提出背部沟槽终端结构采用二维和三维器件仿真对比研究有源边界终端结像素探测器构结果表明背部沟槽终端结构会在沟槽拐角处形成电场峰同像素内沟槽底端电场终端结构沟槽等效对称

中国科学: 技术科学 2015 年 第45 卷 第9 期: 991 ~ 998 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 三维阵列电极粒子像素辐射探测器的终端结构 仿真研究 ① ①* ② 胡海帆 , 王颖 , 陈杰 ① 哈尔滨工程大学信息与通信工程学院, 哈尔滨

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