一种基于mems的新型镂空压电悬臂梁能量采集器 - 微电子学.pdf

第 卷 第 期 微 电 子 学 , 46 3 Vol.46 No.3 年 月 2016 6 Microelectronics Jun.2016 췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍 一种基于MEMS的新型镂空压电悬臂梁能量采集器 1 1 1 2 , , , 罗 元 万沙浪 甘如饴 王兴龙 ( , ; , ) 1.重庆邮电大学 光电工程学院 重庆 400065 2.重庆平伟实业股份有限公司 重庆 405200 : , 摘 要 在经典的矩形悬臂梁结构基础上进行改进 设计了一种新型的基板与压电膜镂空的微悬 。 , ( 、 、 臂梁能量采集器 在悬臂梁基板与压电膜上添加镂空 分析其结构尺寸 即镂空的长度 宽度 厚度 ) , , 以及数量 与压电振子固有频率和开路输出电压之间的关系 并通过调节其结构尺寸 使压电能量 。 , , 采集器具有更低的振动频率与更高的开路输出电压 实验结果表明 在镂空长度为200 m 宽度 μ , , , 。 为 数量为 时 该结构振子的固有频率可达到 开路输出电压可达 165 m 12 399.7Hz 0.271V μ : ; ; ; 关键词 能量采集器 矩形悬臂梁 固有频率 开路输出电压 中图分类号: ; 文献标识码: 文章编号: ( ) TH703TN384 A 1004-3365201603-0419-05 ANewHollowed-OutPiezoelectricCantileverBeamEner Harvester gy BasedontheMEMS 1 1 1 2 , , , LUOYuan WANShalan GANRui WANGXinlon g