复合薄膜磁致伸缩系数求解及悬臂梁结构优化 - 光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ８ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．８ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ８ Ａｕ．２０１１ 　 　 　 ｇ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０８１８３２０６ 　 复合薄膜磁致伸缩系数求解及悬臂梁结构优化  王福吉 ，贾振元，刘 巍，赵显嵩 　 （大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁 大连 １１６０２４） 摘要：建立了超磁致伸缩薄膜（ ）的磁致伸缩系数求解模型用于分析磁机耦合转化关系，研究了模型的建立过程、推 ＧＭＦ 演机理及仿真结果。通过合理简化复合 ＧＭＦ变形，并以单层 ＧＭＦ的磁致伸缩系数表达式为基础，推演得出了复合 ＧＭＦ的磁致伸缩系数表达式。以具有正负磁致伸缩效应的复合 ＧＭＦ为研究对象，利用推演得出的复合 ＧＭＦ的磁致 伸缩系数表达式，讨论了磁致伸缩镀层厚度对悬臂梁式 ＧＭＦ自由端挠度的影响规律。研究结果表明：在镀层总厚度一 定且正磁致伸缩材料层与负磁致伸缩材料层厚度比为 时，不论是 基薄膜还是 基薄膜，其变形能力均达到最大 ２．３ Ｃｕ ＰＩ 值，从而实现了正负复合薄膜悬臂梁的结构优化。 关 键 词：超磁致伸缩复合薄膜；磁致伸缩系数；结构优化 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＧ１３２．２ＴＢ３８１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１８３２ 　　 　　 犆犪犾犮狌犾犪狋犻狅狀狅犳犿犪狀犲狋狅狊狋狉犻犮狋犻狏犲犮狅犲犳犳犻犮犻犲狀狋狅犳犮狅犿 狅狊犻狋犲 犵 狆 狋犺犻狀犳犻犾犿犪狀犱狊狋狉狌犮狋狌狉犲狅狋犻犿犻狕犪狋犻狅狀狅犳犮犪狀狋犻犾犲狏犲狉 狆  ， ， ， ＷＡＮＧＦｕｉ ＪＩＡＺｈｅｎｕａｎ ＬＩＵＷｅｉＺＨＡＯＸｉａｎｓｏｎ ｊ ｙ ｇ （ 犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅狉犘狉犲犮犻狊犻狅狀犪狀犱犖狅狀狋狉犪犱犻狋犻狅狀犪犾犕犪犮犺犻狀犻狀 犜犲犮犺狀狅犾狅 狅 狋犺犲 狔 狔犳 犵 犵狔 犳 ， ，