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表面粗糙化来提高sio2 中纳米硅的拉曼强度 - 中国科学g辑
中国科学: 物理学 力学 天文学 2011 年 第41 卷 第7 期: 845 ~ 849
SCIENTIA SINICA Phys, Mech Astron SCIENCE CHINA PRESS
论 文
表面粗糙化来提高SiO2 中纳米硅的拉曼强度
① ② ① ① ①* ③
张有为 , 毕大炜 , 公祥南 , 边惠 , 万里 , 唐东升
①浙江温州大学物理与电子信息工程学院, 温州325035;
②信息功能材料国家重点实验室(上海微系统与信息技术研究所), 上海200050;
③低维量子结构与调控教育部重点实验室(湖南师范大学), 湖南410081
*联系人, E-mail: lwan@
收稿日期: 2010-11-29; 接收日期: 2010-12-14
国家自然科学基金(批准号: 和低维量子结构与调控教育部重点实验室(湖南师范大学)开放课题基金资助(编号: QSQC1008)
资助项目
摘要 本文采用表面粗糙化的方法, 在拉曼背散射配置下观察到SiO2 中注入硅离子形成纳米硅的拉曼散射
特征峰. 运用声子限制模型对纳米硅的特征峰进行曲线拟合, 得到纳米硅的平均晶粒尺寸是 2.6 nm. 这个结
果与透射电子显微镜直接观测的纳米硅尺寸非常符合. 以上研究表明, 表面粗糙化是一个非常有效的方法来
提高拉曼散射强度, 从而方便地研究纳米硅的拉曼特征, 不会对纳米硅的物理性质发生影响.
关键词 纳米硅, 拉曼散射, 声子限制
PACS: 78.67.Bf, 61.46.-w, 78.30.-j, 63.22.Kn
1 纳米硅研究背景 得到很大提升, 已广泛用于纳米硅薄膜太阳能电池[3]
[4]
和硅基发光器件 的研究. 镶嵌在SiO2 中的纳米硅与
纳米硅由于尺寸效应、表面效应等量子现象而具
现代硅平面技术完全兼容、工艺成熟而具有强烈的应
有许多不同于体硅的独特光学、电学特性, 可以应用 [5]
用前景, 受到广泛关注 .
在量子点存储器、太阳能电池、硅基发光器件等领域.
拉曼散射技术是一种非接触、非破坏性的测试技
硅基量子点存储器是利用纳米硅的量子限制效应和
术, 常用来研究纳米材料的微结构. 但用离子注入到
库伦阻塞效应, 通过调节栅极偏压就能很好控制电
热氧化的 SiO2 层中制备纳米硅的纳米硅浓度很低并
子以直接隧穿方式进出纳米硅, 完成纳米硅的充放
[1] 且衬底硅的拉曼信号无法消除, 因此, 在通常的背散
电从而使阀值电压改变, 实现数据的存贮 . 因为纳
[6]
米硅在室温显示出电子效应[2],
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