多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的 - ingenta connect.pdf

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2017-09-03 发布于天津
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多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的 - ingenta connect

材料工程／年期５８２０１１１２　　　多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响ＥｆｆｅｃｔｓｏｆＬａｓｅｒＳｃａｎｎｉｎＣｏｎｄｉｔｉｏｎｓｏｎＭｅｔａｌｌｉｃ　　　ｇ　　　／ＭｉｃｒｏＮａｎｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｉｎＭｕｌｔｉｈｏｔｏｎＮａｎｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　　ｐ　，１２１１１，，，靳伟董贤子赵震声段宣明　（中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室，１；，）北京１００１９０２中国科学院研究生院北京１００１９０，１２１１１，，，ＪＩＮＷｅｉＤＯＮＧＸｉａｎｚｉＺＨＡＯＺｈｅｎｓｈｅｎＤＵＡＮＸｕａｎｍｉｎ　　　－　　－ｇ　－ｇ（，１ＫｅＬａｂｏｒａｔｏｒｏｆＦｕｎｃｔｉｏｎａｌＣｒｓｔａｌｓａｎｄＬａｓｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｙｙ　　ｙ　　　ｇｙ　　，，；ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓＢｅｉｉｎ１００１９０Ｃｈｉｎａ　ｙ　ｊｇ