原创力文档- 1、本文档共5页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
CNTs微悬臂梁光热特性研究 - 内江师范学院
内江师范学院学报 第 卷第 期
31 10
· · JOURNALOFNEIJIANGNORMALUNIVERSITY No.10Vol.31
38
CNTs微悬臂梁光热特性研究
林 成*
(内江师范学院 物理与电子信息工程学院, 内江 四川 )
641199
: ( ) ,
摘 要 研究了红外脉冲激光照射下碳纳米管 微悬臂梁的光热特性 首先 基于热传导模型建立了微
CNTs .
; ;
悬臂梁动态温度状态方程和振动方程 然后采用真空抽滤和 MEMS加工方法制备了CNTs微悬臂梁 再采用波长
,
为 的 激光器作为激励光源测量得到微悬臂梁的振动特性 实验结果表明 微悬臂梁振幅随频率增加
1392nm DFB .
, ;
而减小 其最大截止频率约为 173Hz最后采用 CNTs微悬臂作为热传感器测量得到水蒸气的光热光谱信号.
: ; ; ;
关键词 微悬臂梁 碳纳米管 光热响应特性 光热传感器
: / /
DOI10.13603 .cnki.51-1621z.2016.10.008
j
中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( )
TH744.1 A 1671-1785201610-0038-05
引言 采用波长为 的 激光器作为激励光源
0 1392nm DFB
测量得到微悬臂梁的振动特性 最后采用 微
. CNTs
作为最重要的MEMS器件之一的复合结构微
悬臂作为热传感器测量得到水蒸气的光热光谱信
、
悬臂梁由于具有极高的热灵敏度 可靠性以及易于
,
[ ] 号 进而验证了使用 CNTs微悬臂梁作为光热偏转
1-4
,
批量生产等优点 受到了研究者的极大关注 由
文档评论（0）