微细制造 - 上海交通大学-机械与动力工程学院.pdf

课程代码及名称:M6013 微细制造 导师: 朱利明，彭林法 学分: 3 授课语言: 中文 必修/选修: 开课时间: 1. 选修 春季学期 授课方式: 先修课程: 1. 课堂学习 设计与制造1、2、3，电子与电工技 2. 实验 术、测试技术 3. 讨论 考核方式: 课程专业要素  课堂提问、出席率, 30% 1. Engineering Topics :  测验成绩, 15% Engineering Science-2credits  报告、讲演, 20% Engineering Design-1credit  实验报告, 15%  报告，讲演，讨论, 20% 教材/参考书 教材：《微细加工技术》王振龙等， 国防工业出版社，2005年，ISBN ：9787118040326 参考书目：  《Micro-manufacturing Engineering and Technology 》，Qing Yi ，Published : JUL-2010 ， Hardbound, ISBN 13: 978-0-8155-1545-6  《微纳米加工技术，及其应用（第2 版）》，崔铮著，高等教育出版社，2009 ，ISBN ： 9787040263589  《微成形制造技术》，张凯锋，化学工业出版社，2008 ，ISBN : 978712202 课程描述: 本课程面向机械工程专业的硕士及以上学生。针对目前国际上微细制造领域的关键技术问题， 介绍微细制造发展过程，微细零件工业应用，；围绕微尺度下材料特性，微细零件设计，制造 加工工艺，IC 制造，微纳米加工，精密定位等进行系统介绍和前景展望。 课程培养目标 [Related ME Program Outcomes in brackets] 作为前沿学科，本课程主要针对近年来工业和学术界兴起的微细加工工艺，通过对课堂教 学、调研报告、实验和课程设计等，提高研究生的科研学习能力和工程实践能力（A5.1，A5.3, A5.4 ，B2, C2 ）。 相关课程培养目标标准: A2. Engineering fundamentals A3. Analytical skills 撰写者:彭林法 发布时间: 11. 12, 2012 《微细制造》课程教学大纲 课程名称：微细制造 课程代码：ME6013 学分/学时：3 学分/48 学时课程 开课学期：春季学期 适用专业： 机械工程及自动化 先修课程：机械设计与制造1、2 、3、电子与电工技术、测试技术 后继课程： 工程设计 开课单位： 机械与动力工程学院 一、课程性质和教学目标（需明确各教学环节对人才培养目标的贡献，专业人 才培养目标中的知识、能力和素质见附表） 课程性质：“微细制造”是机械工程及自动化等专业硕士及以上学生的一门重要 的专业主干课。 教学目标： 本课程针对机械制造专业的硕士及以上学生。针对目前国际上微细制造领 域的关键技术问题，围绕微尺度下材料特性，微细零件设计，制造加工工艺， 微细零件检测与应用进行系统介绍和前景展望。具体教学方案包括：  制定详细的教学大纲：参考目前国际上最新出版的教科书、专著和综述性 论文、资料等；总结归纳出关于微细制造领域的目前最前沿技术和工艺， 确定课程各章节的