第一章绪论 - chur.pdfVIP

第一章 緒論 1-1 研究動機 “ All-in-one ”可以說是科技進步的一股動力，而輕、薄、短、小 則是大家努力的目標。這股動力就如同化學反應裡的催化劑、生物體 內的「酵素」有著相同的功能，那就是可使微小化的過程反應加速。 而 MEMS( Micro Electro-Mechanical System )--微機電系統，可以說是 在不斷微小化過程所得到的一標準的製程，這也是人類從巨觀尺度加 工跨越到微觀尺度製造的一個重要發展技術。過去二十年來，用以製 造微米級元件的微機電系統已形成實際上的衝擊。 MEMS 製程有下列優點： 1. 由於尺寸小所以材料的消耗非常的少，如果再加上大量的製 造，則整體成本可以降低，所製造的商品價格也可以減少， 使其在市場上更具競爭力。 2. 材料的消耗少，則產生的廢棄物料也會相對性的減少，對環 境的傷害也可以減至最低，所以微小化的科技可以說是「綠 色科技 」，也就是非常的環保。 3. 由於尺寸控制到很小，如果應用在電子電路上則速度可以非 1 常的快，也就是效率可以非常高，現在時脈 2.2GHz 的中央處 理器(Central processing unit)也只能瞠乎其後。 時至今日，微小化技術已從 MEMS 發展至 NEMS ( Nano Electro-Mechanical System ) ，應用範圍幾乎可以涵蓋到各個領域，可 以使原來微米級的尺寸縮小 1000 倍。微米級的尺寸就已經很難用肉 眼看到，遑論奈米級。這也是微小化的一個必然趨勢，1 nm 裡大約 有 3-4 個原子，而終極的目標則是希望抓住單一原子並且可以依序排 列。想像當一台電腦縮小至只有手錶般的大小，裡頭的硬碟顆粒可能 就是由單一原子來排列，而且速度可以比現在快很多。 人類對於微觀世界之興趣與研究，歷千年而不衰。由早年希臘哲 學家們爭論構成宇宙之基本粒子元素，至本世紀有關原子與更小粒子 之理論結果紛紛出籠。目前人類對於原子核尺寸( Angstrom )大小之微 觀世界，可說已有相當程度之了解，然而，由於工程應用上一直認為， 必須有相當質量方可產生可用之力或功，因此，微觀世界的一些物 理、化學現象，較未受到工程界重視。 然而，近年來，微尺度設備不論在商業應用或是科學上之研究有 越來越普及之趨勢，如小型加速器、微米級尺寸之量測、以及應用於 汽車安全氣囊系統之微型感測器等，在尺寸比例上，一個量測微小壓 2 力之感測頭可以比針頭還要小，而微型致動器應用在掃描式電子顯微 鏡上則可一動相當於一個原子大小之影像，最新的微細製造技術將以 上這些產品都一一實現。 由於電子元件的效能日益加速，並且在外型尺寸不斷地要求小型 化的同時，無形中也增加了電路設計的複雜性與裝置熱散的困難度； 為了系統性能與穩定度的提升，有效率地的散熱不僅能加速此一目地 的達成，亦能降低系統的負荷；也因此，以半導體製程所製作的矽質 微渠道扮演了關鍵的角色。 近年來生物科技的發展備受重視，投入的人力也持續在增加當 中，其中尤以生物晶片( Bio-chip 、Lab-on-chip )的研究最為熱門，而 生物晶片的作用機制可由簡單的幾何渠道延伸至複雜的多重溝槽，其 功能從檢測單一氣體、液體、固體甚至是生物細胞，一直發展至混合 分子的檢測。而微渠道的發展研製正好可為生物晶片的完成注入另一 股新的動力，也是微渠道未來的另一個新的應用方向。 1-2 文獻回顧 有關微渠道的製作與熱傳輸送現象的相關重要論文，如表 1-1所 3 示，並就相關研究作一簡單的討論。 X.F. Peng 等[1] ，研究平板上的微渠道溝槽，並以水為工作流體 的情況下，幾何形狀在單相強制對流熱傳中的影響；其中微渠道的水 力直徑從 0.311mm 到 0.367mm 。摩擦壓降小於傳統的理論值，微流 道中過渡區到紊流區間的雷諾數也小於一般流道的值。 T.M. Adams 等[2] ，研究尺