限流元件流导测量技术研究进展.pdfVIP

真空与低温 第23卷 第2期 76 VacuumCryogenics 2017年4月 限流元件流导测量技术研究进展 张 琦，李得天，杨长青，成永军，赵 澜，吉 康，孙 健 （兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室，兰州 730000 ） 摘要：在真空技术应用中，限流元件流导主要用于气体微流量计微小气体流量的产生、提供真空室动态标准压力 及真空漏孔的校准。目前测量限流元件流导的方法主要有恒压法、定容法、流量比较法、线性规法、升压法。文章介绍 了国内外测量限流元件流导的常用方法，列举了各种测量方法的适用范围和限制因素，并对比不同测量方法的特点。 关键词：计量学；气体微流量计；限流元件流导；测量方法 中图分类号：TB771 文献标志码：A 文章编号：1006-7086（2017 ）02-0076-06 DOI ：10.3969/j.issn. 1006-7086.2017.02.003 RESEARCHONMEASUREMENTMETHODFORORIFICECONDUCTANCE ZHANG Qi ，LI De-tian ，YANG Chang-qing ，CHEN Yong-jun ，ZHAO Lan ，JI Kang ，SUN Jian （Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory ， Lanzhou Institute of Physics ，Lanzhou 730000 ，China ） Abstract ：In the application of vacuum technology ，flow limiting element conductance is mainly used for producing tiny gas flow of gas micro-flow meter ，providing standard dynamic pressure for vacuum system and calibration of vacuum leak. Measurement methods for orifice conductance consist of constant pressure method ，constant volume method ，flow comparison method ，linear vacuum gauge method and pressure increasing method. This article introduces the applicable scope of four commonly used methods. The application of various measurement methods and their restrictions are enumer- ated ，and compares the characteristics of different measurement methods. Key words ：metrology ；gas micro-flow meter ；flow limiting element conductance ；measurement method 0 引言 元件的流导可以通过理论计算得到，对于尺寸无法 在真空技术应用中，限流元件主要用于气体微 准确测量的限流元件，其流导只能通过实验的方法