光学非球面自动对焦测量系统的研究4468Kb-厦门大学学术.PDF

摘 要 摘 要 影响高精度非球面加工精度的不仅是机床、刀具和数控技术等参数，而 且取决于制造系统所采用测试手段和所能达到测量精度。目前,非球面测量往 库 往采用接触式与非接触式两种测量方式:在采用接触式测量方式通常采用机 械头与工件表面接触,工件与测头存在接触力,需要进行测头半径补偿、测头 要 容易划伤被测表面或被表面划伤、难以达到较高精度;在采用非接触式测量方 摘 式通常采用刀口阴影法进行测量或激光数字干涉仪进行测量, 刀口阴影法要 文 球工件透明以便激光透过工件到达刀口,而激光数字干涉仪要求工件表面光 滑以防发生衍射现象。本文针对非球面制造系统的测量特点，将光栅测量技 论 术和光学显微镜自动对焦技术引入环节，进而提高对非球面工件测量精度, 士 解决了对非球面加工精度的测量问题。 测量系统的对焦光路是由两部分组成,一个是图象对焦,是辅助对焦光路; 硕 另一是偏心光束对焦,是主对焦光路。偏心光束对焦是本课题研究的重点。本 博 课题完成主要工作如下： 1. 偏心光束对焦实验台光路与电路的设计与调试。 学 2. 偏心光束对焦实验。 大 3. 偏心光束对焦测量系统控制环节的设计。 4. 基于图像处理的显微镜自动调焦方法的研究。 门 论文共分七章,第一章绪论介绍测量总体结构设计;第二章叙述偏心光束 厦 对焦实验台设计与调试; 第三章叙述将光信号转为电信号光电探测器 PSD 及 其相关电路设计；第四章叙述偏心光束对焦系统的控制环节的设计；第五章 叙述图象对焦以及相关图象处理；第六章研究非球面面形检测及其数据采集 与处理；第七章课题总结及其前景展望。 关键词: 自动对焦；光电检测技术；非球面；加工精度。 库 要 摘 文 论 士 硕 博 学 大 门 厦 Abstracts Abstracts The manufacturing Accuracy of grinding optical asph