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洁净室简介 提纲 一、洁净室之定义洁净室洁净室之分类洁净室气流之流动洁净室之构成洁净室之定义 　　洁净室(Clean Room)，无尘室。 　「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 　　洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。污染源知识 1、发尘量 洁净室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也不断减少。 A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。 B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少； C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍； D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。 室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。 2、发菌量 分析国外试验资料可以认为： （１） 洁净室内当工作人员穿无菌服时： 静止时的发菌量一般为10-300个/min.人 躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人 快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人 （２） 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人 喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人 （３） 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人 （４） 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14 （５） 发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例： （６） 手术中人员发菌量 878个/ min.人 所以，可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人，动态发菌量一般不超过1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 　　209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。 　　美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。  ISO 14644-1标准 国际标准化组织ISO正在制定洁净室的系列标准，它涵盖了洁净室的重要项目，例如设计、测试、运行、生物污染等。1999年出版了其第一个标准ISO14644-1，题为“空气洁净度等级“并给出了洁净室分级方法。ISO的洁净室级别按下述公式计算： ? ? 其中： ??? Cn为大于等于选定粒径之粒子的最大允许浓度（粒子数量/每立方米空气） ??? Cn四舍五入至整数，非零有效数字不超过3个。 ??? N是ISO的级别数字，不大于9。可规定ISO的中等级别，等级差最小为0.1。 ??? D是所选定的粒径，以μm为量纲的常数。 ??? 任何选定粒径的悬浮粒子之最大允许浓度，也就是级别，都可以按3.1的公式算出。为说明分级限制，表3.3给出了ISO14644-1的分级级别。 ??? 应当注意的是，洁净室的ISO14644-1级别与联邦标准209的级别可以转换。如果ISO标准的每立方米粒子浓度被35.2除，就转换成没立方英尺的粒子计数。就可以在表3.3中找到联邦标准2090.5μm粒径的相应级别。例如，ISO 5级相当于联邦209的100级或M3.5级。 三、洁净室　　1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。 　　2. 能防止微尘粒子之产生。 　　3. 温度和湿度之控制。 　　4. 压力之调节。 　　5. 有害气体之排除。