基于MEMS技术的微波（RF）滤波器的设计 - 易迪拓培训.PDF

7月 中国机械工程第16卷增刊2005 乔东海 中国科学院声学研究所，北京，100080 有体积小、承受功率大、性能优良、成本低以及易于与后续的电路集成等突出优点，因此，由薄膜体声波谐振器 MEMS技术制作的薄膜体声波谐振器(FBAR)为基本单元构成梯子式(Laddertype)射频滤波器的原理出发， 对滤波器的性能表设计进行分析，并对实际滤波器中的问题进行了较详细的探讨。 关键词：射频滤波器；MEMS器件；薄膜体声波谐振器；滤波器设计 x(2005)S1一0158—03 中图分类号：TN015；TN454文章编号：1004—132 ofRFBAWFilter Surface Design Using MicromachiningTechnology Qiao Donghai InstituteofAcoustics，C：hineseof 00080 AcademySciences，Beijing，1 in Abstract：RFMEMSfilters surface arenew canbeusedthefront using micromachiningtechnologydevices．They endofmicrowavecommunicationto theconventionalsurfaceacoustic to systemsreplace their ofsmall and withother performance，low——costeasilyintegrated advantagessize，high——powerhandling，good electronic onthesamesiliconwafer．Inthis and ofRFMEMSfiltersbasedonthefilm components text，principledesign bulkacoustic—wave and ofthefilterswithladder resonators(FBAR)were presented．Performancedesignparameters were indetail． typeconfigurationsinvestigated words：RFfilters；RF—MEMS；FBAR；Filter Key design 0 引言 滤波器(SAW)或陶瓷滤波器。而声表器件在性能、最高工 作频率、鲁棒性、功率承受能力和静电敏感性等方面都受 如果没有选择性很强的射频滤波器(RF—Filter)，移 动通讯用的手机几乎不能正常地工作。这些