原创力文档- 1、本文档共4页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
场致发射材料的特性-福州大学学报
28 4 () Vol.28 No.4
2000 8 Journal of Fuzhou University(Natural Science) Aug.2000
:1000-2243(2000)04-0022-04
,
(, 350002)
:, 、 、 、GaAs
.(FED)、
, .
:;;;
:TN873 :A
1
, ,
()
, ,
.
,
7
(10 V/cm )
, 1 、
, 1., ,
9 2 [1]
10 A/cm .
, :;
[2] [3]
; .Fowler-Nordheim , :
-6 2
1.54 ×10 (βU ) 7 3/2
I = Υ ex (-6.87×10 (Υ /βU ))
-1
:U (V);Υ(eV);β(cm );βU
(V/cm)., , :
1) U ;
2);
3)β.
2
2.1
:1999-11-02
:(1975-), , .
:(F96024)
4 : ·23 ·
, , W,
Mo,Ta .、, 0.1μPa
.4.52 eV (4.5eV),4.13 eV.
, .
.
, , .
, , (NEA),
[4]
.
2.2 TiN 、BN
,
..
[5]
. , 80 nm
.63 V 40 V .O2 、Cl2 、H2
, Cl 0.5 eV, H 0.9 eV;
2 2
Si-SiO .
2
FEA , 、. Mo
.
[6] [7]
, TiN C-BN (Cube Boron Nitride) , .
TiN , 2 950 ℃,Υ2.9 eV .:(100)n
, SF6 HBr+Cl2
, 15～20 nm Ti ;400 ℃700 ℃
.10～20 nm TiN .TiN
(75 V 53 V).
C-BN , NEA .
C-BN .TiN
.
2.3
, ,
.2
[8]
.
0.5 ～1.5 μm. 300 V,
70V .
,
文档评论（0）