基于光压原理的微堆积制造技术.PDF

物理学和高新技术 基于光压原理的微堆积制造技术 陈立峰! ! 张人佶 （清华大学机械工程系! 北京! #$$$% ） 摘! 要! ! 使用光力和光压来引导微粒进行输运并在确定空间位置进行排列和堆积，可以构造二维或者三维的微 结构，成为一种新的制造技术，其中也包括了激光引导直写技术’ 这是将直写技术和快速原型制造技术相结合而取 得的最新进展’ 文章介绍了利用光压来引导材料进行微制造的基本原理和研究进展，阐述了其中的关键技术和应 用前景’ 关键词! ! 光压，光力，直写，堆积，微制造 !#$%’##()(*’+,- )’.(/’#+($.0 +-#1.%*%02 3’4-5 %. %6+#’* 6$-44($- ()*+ ,-./012! ! 3)4+5 601.7- （!# $%’( )* +,-$(.,$/ 0(1.(%.(1 ，23.(1-4$ 5(.6%3.7 ，8.9 .(1: #$$$% ，;-.($ ） 734+$’#+8 8 89:-;= ?@;0A 1B ?9:-;= 9@0AAC@0 ;?C=B D0 CA0B :? 2C-B0 1B :@1A9?@: B-0@01: E-1BA ? F-;@?1. A-G0B 9@:-;=0A ，1B @@H ?@ ;;CFC=:0 :I0F :? DC-=B JKL MK F-;@?A:@C;:C@0A ，NI-;I @09@0A01:A 10N 99@?;I ? F-;@?.F1C;:C@-12’ OI0 A? ;==0B =A0@.2C-B0B B-@0;: N@-:-12 :0;I1?=?2H -A =A? -1;=CB0B’ OI-A ;?FD-10A :I0 01D=-12 :0;I1?=?2-0A 1B @9-B 9@?:?:H9-12 F1C;:C@-12 :0;I1?=?2-0A ，1B IA D001 0P9=?@0B N-B0=H’ OI0 9@-1;-9=0 ? :I-A :0;I1?=?2H ，@0;01: @0A0@;I ，:I0 E0H 9?-1:A 1B 99=-;:-?1 9@?A90;:A @0 @0Q-0N0B’ 9-2 :%$548 8 ?9:-;= 9@0AAC@0 ，?9:-;= ?@;0 ，B-@0;: N@-:-12 ，;;CFC=:0 ，F-;@? F1C;:C@-12 了商品化’ 光镊技术的重要目标之一是单个微粒的 #! 引言 操纵’ 近年来有人提出可以使用光力和光压来引导 我国两院院士评出的J$$J 年世界十大科技新 微粒进行输运并在确定空间位置进行定位、排列或 闻中，有一项是德国科学家使用高频激光打开“细 堆积，进而构造二维或者三维的微结构，这样就有可 ［#］ 能利用光力进行微制造，成为激光在制造领域应用 胞之门” ，这是激光技术应用于生物学研究领域 的新进展’ 激光具有亮度高、单色性好的特点，目前 的新方向’ 激光的应用以利用激光的热效应和化学效应为主， J! 光压与微制造 德国科学家的这个进展就是利用了飞秒激光的瞬间 热效应对细胞进行打孔的微操作’ 同样，在制造领 光压作为光力之一，其理论根源是麦克斯韦电 域，激光加工也主要利用的是这两种效应’ 磁理论’ #XU$ 年，4AIE-1 指出微粒在光场中受到光 J$ 世纪U$ 年代，贝尔实验室的4AIE-1 提出了 场梯度力和辐射压力（光压）两种