基于直边衍射的高斯激光驻波场仿真.PDF

36 6 激 光 技 术 Vol． 36 ，No． 6 第 卷 第 期 2012 11 November ，2012 年 月 LASER TECHNOLOGY 文章编号:1001-3806 (2012)06-0810-04 基于直边衍射的高斯激光驻波场仿真 1 2 2 1 1 1 1 1 ， ， ， ， ， ， ， 张宝武 马 艳 张萍萍 支理想 李思荣 周晋羽 陈 辰 高毓琨 (1． ， 310018 ;2 ． ， 200092) 中国计量学院计量测试工程学院 杭州 同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室 上海 : ， ， 摘要 为了研究原子光刻实验中基片对汇聚激光场的影响 基于标量光学理论 采用数值计算对直边衍射情况下高 。 ， ， 斯激光驻波场特性进行了仿真 结果表明 高斯激光的直边衍射效应会呈现与平面光波相似的强度振荡现象 两者直边 1 1. 18 1. 37 ; ， ; 衍射后的第 个强度突变分别为中轴线强度的 倍和 倍 随着束腰的增大 高斯激光的衍射越接近平面波 中 ; 轴线和基片表面距离会影响高斯激光截面进入直边几何阴影之外的大小 直边衍射后入射波和其经过反射镜作用的反 ; 。 射波相遇叠加在光轴方向上会形成稳定的驻波 这种驻波的强度在垂直光轴截面上呈现一定的衍射特性 该研究有利 ; 。 于理解直边衍射时高斯驻波场形成的实质 并可通过适当的激光参量来调整实验激光驻波场结构 : ; ; ; 关键词 激光技术 激光驻波场 直边衍射 高斯激光 中图分类号:O435 文献标识码:A doi :10. 3969 /j. issn. 1001-3806. 2012. 06. 024 Simulation of Gaussian laser standing wave based on diffraction by straight edge ZHANG Bao-wu1 ，MA Yan2 ，ZHANG Ping -p ing2 ，ZHI Li-xiang 1 ，LI Si-rong 1 ， ZHOU Jin-yu1 ，CHEN Chen1 ，GA O Yu-kun1 (1. College of Metrology ＆ Measurement Engineering ，China Jiliang University ，Han