案例分析-极特先进科技.PDF

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案例分析-极特先进科技

GT先進技術公司領先研究報告系列 案例分析 總結 本文展示了極特先進科技公司(GT ) 所進行的一項研究的結果,總結了藍 2011年9月27 日發布 寶石材料的質量對單晶(即開即用 重視成品率問題:藍寶石材質對LED晶片 型)磊晶片製造過程的影響。晶片研 究是由GT發起的一項大型材料特徵 加工過程的影響之案例研究 綜合分析研究項目的一部分,該項目 旨在研究藍寶石材料特性對高亮度 (HB )LED價值鏈上的整個製造過程 極特先進科技公司有關藍寶石材料項目的部分特徵說明 的影響。 本研究所介紹的晶片評估得出的結論 極特先進科技公司材料造就LED晶片製造的最高成品率 是:藍寶石材料的質量對高亮度LED 為了進行評估,我們選取了25根兩英寸的藍寶石晶棒。這些晶棒 基片的晶片製造成品率有直接的影 是從採用不同的藍寶石晶體生長技術培育的材料中選取出來的, 響,而採用由GT的先進藍寶石長晶 爐(ASF™)培育的藍寶石材料所生產的 這些技術包括GT的“先進藍寶石長晶爐”,即ASF技術(HEM熱交 晶片具有最為穩定的幾何形狀(平均 換技術)、Kyropoulos法以及另一種類似HEM的長晶方法。對於GT 粗糙度、總厚度變化、彎曲度和翹曲 的 ASF技術所生成的晶棒,我們基於晶體質量、顏色、氣體含量 度),在製造過程中廢品率最低。 等屬性選取了一組樣品組合。本研究使用了 13 個GT 的ASF 樣品, 晶片廢品率與晶片成品率成反比,對 其中5個為非LED級材料。該LED與非LED級ASF材料的比率不是目 晶片製造盈利性有直接影響,晶片幾 前GT的 ASF LED 級產品的典型成品率,而是為了確保採用的分析 何特徵一致則是下游單晶磊晶廠和元 方法能夠有效幫助人們理解晶體缺陷對LED製造成品率的影響而 件製造廠的規格要求之一。在本研究 特意選擇的比率。分析其他材料時,GT使用了市場上有售的、被 中,GT的總體表現名列第一,因此, 當考慮影響高亮度LED價值鏈上單晶磊 晶棒供應商確定為LED級的晶棒。每根藍寶石晶棒的晶體缺陷情

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