激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究-红外技术.PDFVIP

第31 卷 第7 期 红 外 技 术 Vol.31 No.7 2009 年7 月 Infrared Technology July 2009 〈材料与器件〉 激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究 1 2 1 杨 伟 ，彭信翰 ，张 骏 （1.烟台大学光电学院，山东 烟台 264005 ；2.深圳市木森科技有限公司，深圳 518102 ） 摘要：采用激光刻蚀的方法来实现非制冷热释电红外焦平面探测器的网格化，分别在空气中和碱溶液 中使用紫外激光对钛酸锶钡 （BST ）材料进行划线，分析了溶液和激光参数的影响。使用KOH溶液作 为辅助介质时，获得了宽为8 µm ，深约25 µm ，边缘光滑，侧壁垂直度高的微槽，已满足了实际应用 要求。 关键词：激光刻蚀；紫外激光；BST；非制冷红外焦平面阵列 中图分类号：TN215 ；TN249 ；TG485 文献标识码：A 文章编号：1001-8891(2009)07-0373-04 The Study of Reticulating IRFPA by Laser Etching 1 2 1 YANG Wei ，PENG Xin-han ，ZHANG Jun (1.Institute of Opto-Electronic Information, Yantai University, Yantai Shandong 264005, China; 2.Shenzhen Musen Technologies CO,. LTD. Shenzhen 518102, China) Abstract ：Laser etching was used to reticulate the infrared focal plane array(IRFPA), scribing the barium strontium titanate (BST) with UV laser in atmosphere and alkali solution. The influence of solution and water parameters. Use UV laser to scribe the BST in the alkali solution were analyzed. the smooth groove width is 8 µm, depth is 25 µm. these can be achieved in the applied conditions. Key words ：laser etching ；UV laser ；BST ；uncooled infrared focal plane arrays 红外探测器具有室温下工作，不需要致冷，频谱响应 引言 宽，体积小、重量轻、反应快，易与微电子技术兼容 由于材料温度的变化引起极化状态改变的现象 等优点。因此BST成为制作高性能热释电红外探测器 称为热释电效应，铁电材料则是自发极化方向可以在 的重要材料，各国正大力研制BST非制冷热释电红外 外场作用下反转的一类热释电体，目前主要的铁电材 探测器件，国外主要有美国TI公司，英国GEC-马可尼 料有PbZr － Ti O （PZT ）、Pb － La Zr Ti － O 等，其中美国TI公司在1996 年采用