柔性铰链支撑式动镜的误差分析.pdfVIP

２０１７年 仪 表 技 术 与 传 感 器 ２０１７ 第５期 Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ａｎｄ Ｓｅｎｓｏｒ Ｎｏ．５ 柔性铰链支撑式动镜的误差分析 冯骏豪，曾立波，吴琼水，许贤泽 （武汉大学电子信息学院，湖北武汉 ４３００７９） 摘要：柔性铰链支撑式动镜系统广泛应用于便携式、工程在线测量的傅里叶变换红外光谱仪中。 而在运动过程中，柔性铰链与动镜的微弱形变会给动镜引入不同程度的误差。 通过建立数学模型，并 结合调制度与初相位来分析系统存在的误差。 结果表明：动镜的动态垂直度误差会严重影响信号干涉 的质量，动镜行程、速度是其影响因素。 可通过设计上的优化来减小其影响，对动镜的制作有借鉴 意义。 关键词：傅里叶变换红外光谱仪；动镜；立体角镜；柔性铰链；动态垂直度误差 － － － 中图分类号：ＴＨ７４４ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００２ １８４１（２０１７）０５ ００３５ ０５ Ｅｒｒｏｒ Ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ Ｍｏｖｉｎｇ Ｍｉｒｒｏｒ Ｂａｓｅｄ ｏｎ Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｈｉｎｇｅ Ｓｕｐｐｏｒｔ ＦＥＮＧＪｕｎ⁃ｈａｏ，ＺＥＮＧ Ｌｉ⁃ｂｏ，ＷＵ Ｑｉｏｎｇ⁃ｓｈｕｉ，ＸＵ Ｘｉａｎ⁃ｚｅ （Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ，Ｗｕｈａｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｗｕｈａｎ４３００７９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｍｏｖｉｎｇ ｍｉｒｒｏｒ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｔｈｅ ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｈｉｎｇｅ ｓｕｐｐｏｒｔ ｗａｓ ｗｉｄｅｌｙ ｕｓｅｄ ｉｎ ｔｈｅ ｐｏｒｔａｂｌｅ ａｎｄ ｏｎ⁃ｌｉｎｅ Ｆｏｕｒｉｅｒ ｔｒａｎｓｆｏｒｍ ｉｎｆｒａｒｅｄｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ．Ｔｈｅｓｕｂｔｌｅｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｆｌｅｘｉｂｌｅｈｉｎｇｅａｎｄｍｏｖｉｎｇｍｉｒｒｏｒｒｅｓｕｌｔｅｄｉｎｅｒｒｏｒｉｎｖａｒｙｉｎｇｄｅ⁃ ｇｒｅｅｓ，ｗｈｅｎ ｉｔ ｗａｓｍｏｖｉｎｇ．Ｔｏａｎａｌｙｚｅｔｈｅｅｒｒｏｒｏｆｔｈｅｓｙｓｔｅｍ，ａｍａｔｈｍｏｄｅｌｗａｓｂｕｉｌｔｃｏｍｂｉｎｅｄｗｉｔｈｍｏｄｕｌａｔｉｏｎｄｅｐｔｈａｎｄｔｈｅｉｎｉ⁃ ｔｉａｌ ｐｈａｓｅ．Ｒｅｓｕｌｔ ｓｈｏｗｓ ｔｈａｔ ｄｙｎａｍｉｃ ｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒｉｔｙ ｅｒｒｏｒ ｃａｎ ｓｅｒｉｏｕｓｌｙ ａｆｆｅｃｔ ｔｈｅ ｑｕａｌｉｔｙ ｏｆ ｓｉｇｎａｌ ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ．Ａｎｄ ｔｈｅ ｒｏｕｎｄ ｔｒｉｐ ａｎｄ ｓｐｅｅｄｏｆｍｏｖｉｎｇｍｉｒｒｏｒａｒｅｔｈｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｆａｃｔｏｒｓ．Ｂｙｏｐｔｉｍｉｚｉｎｇｄｅｓｉｇｎｃａｎｒｅｄｕｃｅｉｔｓａｆｆｅｃｔｉｏｎ．Ｉｔａｌｓｏｈａｓｒｅｆｅｒｅｎｃｅｓｉｇｎｉｆｉ⁃ ｃａｎｃｅ ｔｏ ｔｈｅ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｏｆ ｍｏｖｉｎｇ ｍｉｒｒｏｒ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｆｏｕｒｉｅｒ ｔｒａｎｓｆｏｒｍ ｉｎｆｒａｒｅｄ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ；ｍｏｖｉｎｇ ｍｉｒｒｏｒ；ｃｏｒｎｅｒ ｃｕｂｅｒｅｔｒｏｒｅｆｌｅｃｔｏｒ；ｆｌｅｘｉｂｌｅｈｉｎｇｅ；ｄｙｎａｍｉｃｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕ⁃ ｌａｒｉｔｙ ｅｒｒｏｒ ０ 引言 影响。 而对垂直度误差的研究大多都是从角镜存在 傅里叶变换红外光谱仪应用广泛。 动镜系统是 的固定垂直度误差着手分析，角镜在运动过程中引入 光谱仪最核心的部分。 最初的动镜系统是导轨式，由 的动态垂直度误差以及柔性铰链给动镜带来的误差 于摩擦力与振动误差太大，发展为气垫导轨式光谱