衍射光栅超精密位移定位检测新方法.pdfVIP

第38卷第4期 自动化仪表 V01．38No．4 2017年4月 PROCESSAUTOMAlflONINSTRUMENTATl0N Apr．2017 衍射光栅超精密位移定位检测新方法 时轮，王池平，王鹤，许黎明，陈家宝 (上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240) 摘要：光栅干涉仪测量是精密位移检测系统中常用的检测方法，具有较高的检测分辨率。为进一步提高光栅干涉仪位移检测分辨 率，通过对光栅干涉条纹信号的分析，提出了一种基于衍射光栅相位移动的超精密位移定位检测新方法。采用衍射光栅作为测量元 件，通过在经典的衍射光栅位移检测系统中加入光电传感器的相位运动，改变衍射光栅系统的接收相位。其方法是调整光栅干涉仪 系统，使得传感器接收视场中只有两个条纹；在目标定位运动台的最后定位阶段，使接收系统的光电传感器在检测视场的两个干涉条 纹间进行移动，即改变了光栅干涉仪的接收相位。这种位移检测方法突破了检测元件本身的物理限制，在理论上可以获得亚纳米级 以上的超高位移检测分辨率。依据相位移动原理，搭建了具有相位移动功能的光栅干涉仪超精密位移检测定位系统。通过定位检测 试验证明了所提方法的有效性。 关键词：精密制造；光电传感器；光栅；干涉仪；衍射；位移检测 文献标志码：A 中图分类号：TH822；TP206+．1 ANewMethodB嬲edonDiffraction Grating for Detecti伽and Ultra—Precisi佃Displac锄蚰tP0sitioIIing SHI He，XU Jiabao Lun，WANGChiping，WANGUming，CHEN ofMechanical Jiao (school En舀nee血晤，shaIlghaiTonguIlivers畸，shanghai200240，clliM) inteffbrometermeasurememistIle useddetectionfor detection A蛔ct：The metllod grating commoIlly precisiondisplacement itfeatures ordertofurther tlle t}le system，and lligherdetectingresolution；in improvedetectingresolution，tllroughanalyzing i呲erf宅rence 0f newmethodbasedondiffhctionforuItra detection蛐d fdngesignal grating，a grating precisiondisplacement is the movementof positioIlingpmposed．Byado曲ngdjffhction铲atir培asmeasuringcomponent，throughaddingphase sensorintothedi任hction interferometer ofthed进}action pho