MEMS 微镜阵列 - 无锡微奥科技有限公司.PDF

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2017-07-03 发布于天津
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MEMS 微镜阵列 - 无锡微奥科技有限公司

无锡微奥科技有限公司无锡新区长江路16 号软件园8905 室电话：0510传真：0510808 Web ： Email:wiotek@ MEMS 微镜阵列一、产品名称：MEMS 微镜阵列二、主要特征  小尺寸  低电压  线性驱动  本征频率高  大的转动角度三、产品应用该芯片是通过MEMS 工艺制作出来的集光、电、热、机械于一体的光开关器件，采用电热驱动方式，驱动臂通电加热后，产生形变带动微镜镜面发生偏转，可实现在水平和垂直方向的偏转或扫描。可用于光通信网络，光开关，光交叉连接，激光方位控制，可调衰减器，光扫描等。该芯片是通过MEMS 工艺制作出来的集光、电、热、机械于一体的光开关器件。采用DIP 封装，M ×N 阵列，驱动电压小于10V，芯片偏转角度±7°，根据Telcordia 1209 1221，通过可靠性测试。四、性能参数参数性能镜面尺寸 0.5-2mm （可选）阵列大小 2X2，4X4 ，8X8，10X10，16X16，20X20 （可选、可定制）镜面反射 95%(800nm-1600nm) 偏转角度 ±7° 重复性 1Billion 谐振频率 1.5KHz 驱动电压 10V 响应时间 10ms 驱动功耗 M ×N ×30mW 工作温度 -5-75℃ 封装尺寸可选引脚说明：芯片包括(4MX4N+1)个引脚。封装： DIP 封装。第 1 页共 1 页