偏压对CrN涂层结构与海水环境摩擦学行为的影响 - 摩擦学学报.PDF

第 ３４卷　第６期 摩 擦 学 学 报 Ｖｏｌ３４　Ｎｏ６ ２０１４年 １１月 Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ Ｎｏｖ，２０１４ 偏压对 ＣｒＮ涂层结构与海水环境 摩擦学行为的影响 １，２ ３ １ １ 郭　峰 ，王永欣 ，薛群基 ，王立平 （１．中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州　７３００００； ２．中国科学院大学，北京 １０００４９；　３．中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室， 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室，中国科学院宁波材料技术与工程研究所，宁波　３１５２０１） 摘　要：利用多弧离子镀技术在Ｍ２高速钢和ｐ（１００）单晶硅片上用不同偏压条件分别制备了４种ＣｒＮ涂层，考察 了涂层的显微结构、力学性能、海水环境中的电化学特性与摩擦学行为，分析了涂层的裂纹形貌与断裂机制．结果显 示：交替偏压下制备的多层 ＣｒＮ涂层内部结构致密且硬度与择优取向梯度变化，具有高的膜基结合力（Ｌ大于 ｃ －８ １５０Ｎ），较小的平均晶粒尺寸（７０ｎｍ），较高的自腐蚀电位（－０．２３４Ｖ）和较低的自腐蚀电流（３．０５２×１０ Ａ）．在 海水环境中与直径为３ｍｍ的ＹＧ－６（９４％ＷＣ＋６％Ｃｏ）硬质合金球配副，Ｈｅｒｔｚｉａｎ接触应力达到３．４７ＧＰａ时，平均 －１５ ３ 摩擦系数低于０．１５，磨损率低于１．２６×１０ ｍ／（Ｎｍ），磨痕内没有明显的涂层崩裂失效，耐磨损性能明显优于其 余３种ＣｒＮ涂层． 关键词：氮化铬（ＣｒＮ）；结合力；耐腐蚀；海水；摩擦磨损 中图分类号：ＴＨ１１７．３ 文献标志码：Ａ 文章编号：１００４－０５９５（２０１４）０６－０６０８－０９ ＥｆｆｅｃｔｏｆＢｉａｓｏｎＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄＴｒｉｂｏｌｏｇｉｃａｌＢｅｈａｖｉｏｒ ｉｎＡｒｔｉｆｉｃｉａｌＳｅａｗａｔｅｒｏｆＣｒＮＣｏａｔｉｎｇｓ １，２ ３ １ １ ＧＵＯＦｅｎｇ ，ＷＡＮＧＹｏｎｇ－ｘｉｎ，ＸＵＥＱｕｎ－ｊｉ，ＷＡＮＧＬｉ－ｐｉｎｇ （１．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＳｏｌｉｄＬｕｂｒｉｃａｔｉｏｎ，ＬａｎｚｈｏｕＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＣｈｅｍｉｃａｌＰｈｙｓｉｃｓ， ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｌａｎｚｈｏｕ７３００００，Ｃｈｉｎａ ２．ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００４９，Ｃｈｉｎａ ３．ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭａｒｉｎｅＮｅｗＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＲｅｌａｔｅｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， ＺｈｅｊｉａｎｇＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙ