基于AFM 偏转信号的下压效应补偿及样品表面特性测量方法 - 中国科学.PDF

中国科学: 技术科学 2011 年 第41 卷 第9 期: 1172 ~ 1179 SCIENCE CHINA PRESS 论 文 基于AFM 偏转信号的下压效应补偿及样品表面 特性测量方法 ①②* ③ ① 魏阳杰 , 吴成东 , 董再励 ① 中国科学院沈阳自动化所机器人学国家重点实验室, 沈阳 110016; ② 中国科学院研究生院, 北京 100039; ③ 东北大学信息科学与工程学院, 沈阳 110004 * E-mail: weiyangjie@ 收稿日期: 2010-10-15; 接受日期: 2011-03-10 摘要 原子力显微镜(atomic force microscope, AFM)作为微纳米研究中的重要工具, 被广 关键词 泛地应用于微纳米尺度上样品表面高度的测量. 但是, AFM 扫描时针尖对样品存在下压效 原子力显微镜 应, 即扫描得到的样品表面高度由于针尖施加的压力而小于其真实值. 而至今为止, 还没有 下压效应 信息融合 一种快速、有效的补偿下压效应所带来的高度测量误差的方法. 本文通过对AFM 工作原理 表面弹性 及其下压效应机理的详细分析, 充分利用 AFM 偏转测量和高度测量的信息冗余性及互补 性, 提出了一种利用数据融合和参数辨识来自动补偿 AFM 下压效应的方法. 首先, 通过力 曲线概念分析了下压效应的产生机理; 然后, 从力曲线出发, 提出一种基于信息融合和参数 辨识的AFM 下压效应的补偿方法. 值得指出的是, 由于力曲线斜率是样品表面弹性特征的 一种有效表示方式, 本文算法在提高 AFM 高度测量精度的同时, 还能够自动(在线)地获取 样品的表面弹性特征, 从而进一步扩展了 AFM 的应用. 最后, 通过扫描滴在硅基底上的多 壁碳纳米管以及云母基底上的石墨烯进行了试验研究, 以验证该方法的正确性和有效性. 1 前言 平方向移动), 探测器接受探针偏移量对应的反射激 光光强差来获取样品表面信息[3], 具体原理如图 1 所 自从 1986 年 Binning 发明第一台原子力显微镜 示. 简言之, AFM 就是利用针尖和样品间的作用力对 (atomic force microscope, AFM) 以来, AFM 便被广泛 样品表面成像的. 地应用于微纳米操作中[1,2]. 现在, AFM 已经成为微 但是, AFM 针尖对样品施加的作用力会导致扫 纳米尺度上测量样品表面特征的有效工具. 描后的样品表面高度小于其真实值, 即下压效应, 且 AFM 是利用一束低功率激光聚焦到弹性微悬臂 这种下压效应与作用力的大小成正比. 这是因为, 扫 梁前端, 该微悬臂梁一端固定, 另一端为非固定, 且 描过程中针尖和样品之间的作用力使样品表面发生 正下方沉积锐利针尖, 通过探针尖在待测样品上进 形变, 从而引起了扫描后高度图像的误差[3~5]. 因此, 行光栅式扫描(通常是三维压电驱动器带动探针