激光微孔加工中调节孔锥度的算法研究-激光与红外.PDF

第４２卷　 第３期 　　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．３ 　 ２０１２年３月　　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｍａｒｃｈ，２０１２ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１２）０３０２６３０５ ·激光应用技术 · 激光微孔加工中调节孔锥度的算法研究 １ １ ２ 于　洵 ，张　晓 ，程光华 （１．西安工业大学光电学院，陕西 西安７１００３２； ２．中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室，陕西 西安７１０１１９） 摘　要：基于超快激光倒锥孔微加工技术需要，提出了一种利用电光晶体的电光偏转原理调节 光束产生动态精密微位移的方法。通过四块楔形电光晶体的特定方式组合，调节施加在电光 晶体上的电压大小，可使出射光束产生动态的横向位移。在此方法的基础上施加旋转运动，可 实现激光加工锥度可控的倒锥孔。本文介绍了横向位移的产生方法，分析了产生最大横向位 移的影响参数，举例使用ＫＤＰ，Ｄ－ＫＤＰ，ＲＴＰ等电光晶体，讨论了不同长度下，所产生的动态 横向微位移范围。入射光束直径３ｍｍ，电光晶体厚度３ｍｍ，宽度３０ｍｍ，总长为２１０ｍｍ，楔 角 为０．３ｒａｄ，调节电压从０～９００００Ｖ时，ＲＴＰ电光晶体可产生０～７００ ｍ的动态横向 α μ 位移。 关键词：激光微加工；电光效应；倒锥孔；光楔 中图分类号：ＴＮ２４９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１２．０３．００５ Ｓｔｕｄｙｏｎａｌｇｏｒｉｔｈｍｓｏｆａｄｊｕｓｔｉｎｇｔｈｅｔａｐｅｒｉｎ ｌａｓｅｒｍｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ １ １ ２ ＹＵＸｕｎ，ＺＨＡＮＧＸｉａｏ，ＣＨＥＮＧＧｕａｎｇｈｕａ （１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｘｉ′ａｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｘｉ′ａｎ７１００３２，Ｃｈｉｎａ；２．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＴｒａｎｓｉｅｎｔ ＯｐｔｉｃｓａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｘｉ′ａｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＭｅｃｈａｎｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｘｉ′ａｎ７１０１１９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｎｅｅｄｏｆｕｌｔｒａｆａｓｔｌａｓｅｒｍｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｗｅｐｒｏｐｏｓｅａｍｅｔｈｏｄｕｔｉｌｉｚｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏ ｏｐｔｉｃｃｒｙｓｔａｌ′ｓｂｅａｍｄｅｆｌｅｃｔｉｏｎｐｒｉｎｃｉｐｌｅｔｏｇｅｎｅｒａｔｅｄｙｎａｍｉｃｐｒｅｃｉｓｉｏｎｍｉｃｒｏｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ．Ｆｏｕｒｗｅｄｇｅｓｈａｐｅｄｅｌｅｃ ｔｒｏｏｐｔｉｃｃｒｙｓｔａｌｓｍａｋｅａｓｐｅｃｉａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．Ａｄｊｕｓｔｉｎｇｔｈｅｖｏｌｔａｇｅｓｏｎｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃｃｒｙｓｔａｌｓ，ｔｈｅｂｅａｍｃａｎｐｒｏｄｕｃｅａ ｄｙｎａｍｉｃｈｏｒｉｚｏｎｔａｌｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ．Ａｄｄｉｎｇｒｏｔａｔｉｏｎｔｏｔｈｉｓ，ｔｈｅｂｅａｍｃａｎｂｅｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄｔｏｐｒｏｃｅｓｓｉｎｖｅｒｓｅｔａｐｅｒｈｏｌｅｓ． Ｔｈｉｓｐａｐｅｒｄｅｓｃｒｉｂｅｓ