激光球面干涉定位和凹球径测量.PDF

年 月 宇 航 学 报 第 一 期 激光球面干涉定位和 凹球径测量 天池 于凌志 陈 本文就激光球 面干 涉测量 中凹 球面 干 涉 定位 问题 进 行 了探讨 。 指 出球 面 千涉 定 。 位 误 差 与聚焦 物镜数值孔径 的平方成 反 比 为获得较高的定位 精度 , 在 聚焦 物 最 位置上 的整 波面 差应控 “ 之 间。 镜 的 佳成 象 个 象 制在击 到赢 。 介 绍 了研 制成 功 的 激光凹 球面 干涉头, 其 干 涉定 位 误 差达 士 拼 左右 它 既可装于 生产 的三 坐 标测量机上测量 以 内的凹 球径 , 测量精度 士 拼 , 。 又 可 用 面 干 量 以 凹 , 量 士 拼 装在专 激光球 涉仪上测 内的 球径 测 精 度 为 引 言 。 凹 , 用接触式方法测量 球形半径及表面局 部误差 极 易划伤 标准玻璃 球或被检测 的球 表面 检 测中通 常采用的 白光光源 , 其入射光方 向和观察干 涉条 纹的方向没有严格 固定下来 , 给计 数干涉条 纹 特别是 凹球面 的边缘部分干涉带 的观察与计数 及数据处理 带来一 定的误差 。 目前光学抛光后 的凹球面 的检测可 由本文所介绍 的激光球面干 涉仪来完成 。 、 二 工 作 原 理 。 一 , 激光球面干 涉测量工作原理如 图 所示 从 激光器 射 出的一束激 光 经逆用望 远镜 扩展成 口径 约 功 左右 的平行光束 , 然 后经分光镜 分成两路 , 一路射向标准面 反射镜 , 并从其上反射 回来透过 分光镜 射 向观察显微镜 , 另一路透过分 光镜 射 向反 、 、 射镜 聚焦物镜 和被测球面 , 并从被测 凹球 面