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进阶循圆测试仪培训助工厂达到 - Renishaw resource centre
進階循圓測試儀培訓助工廠達到「優於全新」工具機的精度,並有效的延長使用於非傳統矽製程加工的機器壽命
半導體業供應商現在比 OEM 維修技術人員更瞭解其工具機性能。循圓測試儀資料支援 TPM 與新興的 SPC 和 OEE 程式。
對於需常使用工具機群組的人員,如任職於美國俄亥俄州伊頓的 Silfex 公司的Wayne Ross 和 Jacob Hebbeler, 使用循圓測試儀進行測試不是任何新嘗試,。過去十年多來他們兩人皆以循圓測試儀分析,維護並加強廠內 50 台以上機器的精度。但經驗豐富的循圓測試儀使用者,仍可學到一些新應用技巧。這些新技巧可轉成一項業務。升級至 QC20-W 無線循圓測試儀後?,並參加 Renishaw 進階循圓測試儀課程後,TPM 經理 Ross 和機器操作員現可使用擷取的循圓測試儀資料,評估機器、將機器「精細微調」至優於原廠設定的精度,以及延長機器部件的使用壽命。他們也改變了公司測試機器狀況、安排維護時間,以及評估是否需要新機器的方式。Ross 表示:「我們使用循圓測試儀測試已經很多年,但在我們參加進階循圓測試儀培訓之前,我們還無法完全運用測試結果。現在我們正使用循圓測試儀鑑定計量、安排維護決策時間、實行 TPM 與 SPC,甚至是預測機器使用壽命。循圓測試儀有助於我們以從未想過的方式,制定經營與資本設備決策。」
使用傳統設備進行非傳統式處理
Silfex 的機器加工應用好比是工具機的軍事演習場,因此機器診斷作業猶如家常便飯。其車床與 VMC-主要是 Haas 和 Mazak 品牌-使用鑽石刀具研磨與拋光半導體產業使用的矽與石英,因此會產生玻璃般的碎屑與鑽石顆粒,經年累月形成磨損部件的磨蝕性化合物。該公司員工人數達 290 名,屬於 Lam Research Corporation 中增長快速的一員,已打響名聲,成為 Lam 電漿蝕刻槽用電極與矽治具的優質單一來源供應商。這些耗材零件在電腦晶片的製造過程中用來幫助蝕刻的製程,而零件價值高達 30,000美元。
Ross 解釋:「我們為全球少數,可以使不具缺陷的單晶矽長晶至直徑 460mm 的公司之一。」Ross 補充說明:「我們開始時確實要在同一處完成製造,因為半導體業對於每項工序均要求 100% 可追溯性,從材料來源到機械加工零件皆是如此,因此我們需要全面直接掌控。就我們客戶需求而言,這是採購經理的夢想。」
Silfex 的工廠環境受到控制,並配備多間 10,000 至 100 等級的無塵室。Ross 強調:「一丁點汙染就會讓許多電腦晶片當成廢料丟棄。」
矽製程處理包括在計量室使用CMM 與 VCMM設備檢驗之前的線鋸、水刀切割、銑削、鑽鑿、研磨及拋光動作等。零件然後送去現場無塵室進行包裝。生產運行從每組設置 5 到 100 件不等,所需的公差一般為 ±0.001,有時需要 ±0.0005。
矽研磨時,會形成極度嚴苛的機械加工環境。Ross 表示:「我們正使用傳統型機器進行非傳統型加工,然後使用循圓測試儀診斷,在磨損程度大的應用中,發揮機器最大的性能。我們每半年使用循圓測試儀診斷滾珠螺桿,但通常會在這之前要求測試機器。進階循圓測試儀培訓讓我們知道如何判斷是否需進行機器調整,或是否到了更換滾珠螺桿的時間。這可讓我們控制停機時間排程,並在機器部件磨損的情況下仍保持精度,而非僅是從成品零件品質判斷機器性能。我們這些機器,每週五天,一天三班,還會有許長時間運行,而且設備上的研磨環境也相當嚴苛。機器加工環境的變遷如此之快,而我們可以讓這些機器保持高精準度,我感到十分訝異。我們的 VMC 達到能與更高階機器相比擬的精度。此外,高階機器雖然快,但我們也只有研磨時才需要這麼快。因此,我們不需要「更快」,只需要更高精度。」
進階循圓測試儀培訓提高了公司對機械加工性能的水平
Ross 和 Hebbeler 從 Renishaw 進階培訓完結時,對於循圓測試儀資料與如何使用資料已有更深入的瞭解。培訓課程於位於美國伊利諾州霍夫曼的 Renishaw 公司舉行,讓學員在學習實驗室中,對各種不同的工具機練習設置與執行循圓測試儀分析。Hebbeler 表示:「我使用循圓測試儀工作已有 13 個年頭了,自認為非常瞭解自己的工具。但在培訓進行了10 分鐘後,我已學到新的訣竅。而且我們學到如何排除光學尺不符的故障,此有助於我們精細微調圓弧插補,並延長機械零件的使用壽命。我們也查看橫向間隙,判斷線性導軌的狀況。」
Ross 解釋:「完成進階培訓課程後,我們將精力完全放在數字解讀上,以瞭解是否能夠掌控更多資料。Jacob 真的非常擅於調整反向間隙與反向尖峰,因此我們能夠延長滾珠螺桿的壽命,這就是我們在讓維修技術人員進駐之前享有的優勢。有時我們可以進行兩三次調整,為我們爭取許多生產時間,
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