热应力和残余气压对光纤法布里-珀罗压力传感器温度性能的影响.pdfVIP

第35卷 第3期 光 学 学 报 Vol.35,No.3 2015年3月 ACTAOPTICASINICA March,2015 热应力和残余气压对光纤法布里-珀罗压力传感器温 度性能的影响 吴振海 刘铁根 江俊峰 刘 琨 王 双 尹金德 邹盛亮 秦尊琪 吴 凡* 天津大学精密仪器与光电子工程学院，光电信息技术教育部重点实验室，天津大学光纤传感研究所，天津300072 摘要 针对光纤法布里-珀罗（F-P）压力传感器，建立了考虑热应力和残余气压的F-P腔长变化模型，进行了热应力 和残余气压对传感器温度性能影响的理论分析。分析表明，热应力和残余气压的引入使F-P腔长改变量与温度的 线性关系发生了变化，在外界施加100kPa压力，当腔内残余气压小于0.87kPa时，热应力起主要影响作用；当腔内 残余气压大于0.87kPa时，残余气压起主要影响作用。制作了三种不同残余气压的光纤F-P压力传感器，在-20 ℃ ~70 ℃温度范围进行了实验研究，结果显示测量的腔长及其温度灵敏度随温度变化关系与理论分析基本一致。 关键词 传感器；光纤压力传感器；热应力；残余气压 中图分类号 TN29 文献标识码 A doi: 10.3788/AOS201535.0328005 EffectofThermalStressandResidualGasPressureontheThermal ResponseofOpticalFiberFabry-PerotPressureSensor WuZhenhai LiuTiegen JiangJunfeng LiuKun WangShuang YinJinde ZouShengliang QinZunqi WuFan CollegeofPrecisionInstrumentandOptoelectronicsEngineering,TianjinUniversity,KeyLaboratoryof OptoelectronicsInformationTechnology,MinistryofEducation,OpticalFiberSensingResearchInstituteofTianjin University,Tianjin300072,China Abstract AnewmodelforopticalfiberFabry-Perot(F-P)pressuresensorwiththermalstressandresidual gaspressureispresented,thentheirimpactsonthermalresponseoftheF-Psensorareanalyzed.Itshowsthat thelinearrelationshipbetweenthechangeofcavitylengthandtemperaturehaschangedwhenthermalstress and residualgaspressureareconsidered.In thecondition thattheapplyingouterpressureis 100 kPa,the thermalstressplaysamajorinfluenceonthesensorwhentheinitialresidualgaspressureislessthan 0.87 kPa, otherwisetheresidualgaspressureplaysthemajorinfluenceonthesensor.ThreekindsofopticalfiberF-P sensorswithdifferentresidualgaspressuresareproduced