JSM-5600LV扫描电镜的保养及常见故障的排除.pdfVIP

!= 实 验 室 科 学 第 16卷 第4期 2013年8月 CN12—1352／N LAB0RAT0RY SCIENCE Vo1．16 No．4 Aug．2013 JSM-5600LV扫描电镜的保养及常见故障的排除 邹龙江，高路斯 ，周 全 (大连理工大学材料科学与工程学院，辽宁 大连 116023) 摘 要：以JSM一5600LV扫描电镜为例，阐述了钨灯丝扫描电镜 日常维护保养的具体办法，简单介绍了扫描 电镜常见故障的排除方法 ，强调了大型贵重仪器必须专人管理，以及管理者必须具有较强责任心和较高技术 水平的重要性。 关键词：扫描电镜 ；维护保养 ；故障排除 中图分类号：TB82；TB77 文献标识码：A doi：10．3969／j．issn．1672—4305．2013．04．055 MaintenanceandcommontroubleshootingofJSM——5600LV SEM ZOULong—jian