K9和Si（100）基片上Be薄膜微观组织、晶粒尺寸及表面粗糙度的演变规律.pdfVIP

第 23卷第 4期 中国有色金属学报 2013年 4月 、，0123NO．4 TheC：hineseJournalofNonferrousM etals Apr．2013 文章编号：1004—0609(2013)04—1079—07 K9和 Si(1O0)基片上Be薄膜微观组织、晶粒尺寸及 表面粗糙度的演变规律 罗炳池 一，李 恺 1,2 李 佳 ，谭秀兰 一，周民杰 1,2 张吉强 ，罗江山1,2 吴卫东1,27唐永建 f1．中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，绵阳 621900 2．等离子体物理重点实验室，绵阳 621900) 摘 要：采用真 蒸镀法分别在K9和 Si(1O0)摹片上制备Be薄膜，在相同沉积速率下，K9基片上Be薄膜生长 形态和 si基片 卜Be薄膜生长形态存在差异。但是两者随沉积速率增加具有相似的演变