etsc technologies co - 东隆科技.pdf

下载文档 降价啦

45
0
约2.92万字
约 35页
2017-09-03 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

etsc technologies co - 东隆科技.pdf

1、本文档共35页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

etsc technologies co - 东隆科技

激光微加工激光微加工 o. C s ie g lo hno c Te C S T E 武汉东隆科技武汉东隆科技激光微加工的概念激光微加工的应用领域 o. C 飞秒激光微加工的优点 s ie g lo hno c e 飞秒微加工的重要应用 T C S T E 光纤激光在精细加工中的应用展望微加工的概念微加工的概念微加工的概念 ØMicrofabrication 微细加工（结构，功能，性能） ØMicromachining 精细加工（尺寸精确，机械加工）起源于半导体制造工艺起源于半导体制造工艺 o. C s 传统微加工技术多用于硅材料，并限于平面结构，由于这种基于传统 ie g o 光刻和各向异性腐蚀硅微机械光刻和各向异性腐蚀硅微机械，，结晶学取向性限制了能获得的形状结晶学取向性限制了能获得的形状。。 l hno c Te 微加工作为微机械的关键技术微加工作为微机械的关键技术 C S T E 目前常用的工艺方法有：半导体IC加工工艺的硅微细加工，微细电火花精密加工，LIGA技术，微组装技术等等。微加工几何尺寸的偏差