一种光纤布喇格光栅压力传感器的设计及实验 .pdf

第 卷第 期 光 子 学 报 ３８ １１ 　 　 　 Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．１１ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２００９ １１ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ２００９ 一种光纤布喇格光栅压力传感器的设计及实验 褚晓慧，张敏，周宏朴，廖延彪 （清华大学 电子工程系 光纤传感研究中心，北京 １０００８４） 摘 要：报道了一种新型光纤光栅压力传感器设计和实验结果 传感器利用双拱形结构，配合工形 ． 　 膜片将纵向分布的压力转化为膜片横向的应变，通过膜片结构传递应变给光纤光栅，从而达到测量 纵向分布压力的目的 实验结果表明：当传感器受到纵向均布压力作用时，能够较好地感知压力的 ． 变化，光纤光栅中心波长的漂移与所受压力呈线性变化，且线性度达到 ０．９９９．在压力测量范围内， 压力灵敏度达到 －３／ １．０５９×１０ ＭＰａ． 关键词：光纤光栅；双拱形结构；灵敏度；工形膜片 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ２１２ Ａ １００４４２１３２００９１１２７８５４ 　　　　 　　　　 ０ 引言 转化为横向的应变，在压力测量范围内，压力灵敏度 　 达到 －３／ １．０５９×１０ ＭＰａ． 光纤布喇格光栅（ ， ） ＦｉｂｅｒＢｒａ Ｇｒａｔｉｎ ＦＢＧ ｇｇ ｇ １ 犉犅犌传感原理 传感器是利用 Ｂｒａ 波长对温度、应力的敏感特性 　 ｇｇ 而制成的一种新型的光纤传感器 国内外学者的研 ． 光纤光栅是利用光纤材料的光敏性在其纤芯形 究表明， 传感特性稳定，是良好的压力传感元 ＦＢＧ 成的空间相位光栅 当一束光进入光纤光栅时，根据 ． 件 但是由于裸 压力灵敏度低且易损坏，因此 ． ＦＢＧ 光栅理论，满足Ｂｒａ 条件的光波被反射，该光波波 ｇｇ 提出了许多保护 ＦＢＧ并提高其压力灵敏度的封装 长被称为光纤光栅的中心波长 ． 满足 Ｂｒａ 关 λ λ ｇｇ Ｂ Ｂ ［］ 方法 １ 等人 年首先对