不同轰击能量下CrN硬质薄膜的生长方式和择优取向变化.pdfVIP

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不同轰击能量下CrN硬质薄膜的生长方式和择优取向变化.pdf

第34卷 第 2期 兵器材料科学与工程 Vo1.34 No.2 2011芷 3月 0RDNANCEMATERIALSCIENCEAND ENGINEERING Mar一 2011 DOI:CNKI:33—1331/TJ1315.053 网络出版时间 :2011-03—1813:15网络 出版地址 :http://wwwcnki.net/kcms/detail/33.1331.TJ1315 . 201102.73 _ 053.htm1 不同轰击能量下CrN硬质薄膜的生长方式和择优取向变化

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