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不同金属掺杂对TiO_2薄膜氧敏性能影响.pdfVIP

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  • 2017-07-01 发布于未知
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不同金属掺杂对TiO_2薄膜氧敏性能影响.pdf

    测试测量技术 不 同金属掺杂对 TiO2薄膜氧敏性能影 响 TheOxygen SensingofDifferentM etalDopedTitanium OxideThin Film 王巍，王晓磊，代作海，王颖 (重庆邮电大学 光 电工程学院，重庆 400065) WangWei，W angXiao-lei，DaiZuo-hai，WangYing(CollegenfElectronicsEngineering，Chongqing UniversityofPostsandTelecommunications．Chongqing400065) 摘 要：该文讨论了TiO：对氧气的吸附过程及敏感视理、重点分析了掺铁和掺钨对氧敏特性的影响，游犹较了 两者的异同。制作了掺铁和掺钨的TiO2薄膜，并在40C下对薄膜氧敏特性进行了测试。结果表明~TiO2具有 低电阻的特点 ，在高温下

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