光纤传感器在微机电系统振动测量中的应用 - 光子学报.pdfVIP

30 4 　光　子　学　报　　　　　　　　　　　　　　　Vol. 30 No .4 2001 年 4 月　　　　　　　　　　ACT A PHOT ONICA SINICA　　　　　　　　　April 2001　 李鸣明　王　昭　贾书海　谭玉山 ( , 710049) 本文介绍的光纤传感器根据M ichelso 干涉仪的原理, 通过 量相干光的干涉条纹 的移动来 量反射面的位移 . 同时, 利用宽带光源, 采用相位跟踪技术 量极微小的位移和 位移的方向. 从而, 既能 量 级极微小的振动, 也能 量 级的振动 . 为了适应高频 m mm 振动的 量, 引入DSP 充当数据处理系统的核心, 提高处理速度. 该光纤传感器设计巧妙, 精度高, 使用方便. 干涉仪; 相位跟踪; 分光计 0 1 ( MEMS) , 1. MEM S