无驱动硅微机械陀螺 - 北京沃尔康科技有限责任公司.pdfVIP

北京沃尔康科技有限责任公司 电话：010 传真：010 无驱动硅微机械陀螺 一、原理结构 图 1 是用于敏感旋转载体横滚（或俯仰）角速率的 硅微机械陀螺结构图，1 为单晶硅质量，2 为单晶硅弹 性扭转支撑梁，3 为玻璃电极极板，4 为玻璃电极极板 上蒸镀的金属电极。玻璃极板和质量之间的间隙为 20 μ m ，玻璃板的四个电极和质量之间形成四个电容器。  坐标系 OXYZ 固定于陀螺的质量上， 为质量沿 OY 轴   的摆动角速度， 为载体的旋转角速度， 为载体的横滚   （或俯仰）角速度（即被测角速度）。陀螺固定于旋转  载体上，当旋转载体以 角速度旋转的同时又有横滚（或